[发明专利]具有圆柱各向异性热导率的复合装置

权利要求书

1.一种用于在加工室中支撑基底和调节所述基底表面温度的设备，所述设备包含：

基座，其包括用于支撑所述基底的表面；和

加热器，用于加热所述基底，所述加热器紧邻所述基座布置，

其中所述基座是由复合材料制成的，其包含植入基质中的多个导热弓形元件，所述多个导热弓形元件是同心排列的，并且在径向上限定了有间距的预定的间隔，以使得其在基座的方位角方向上的热导率高于基座的径向(ρ)和轴向(z)方向上的热导率，从而加热器的热量沿着所述基座的方位角方向上均匀分布，和

其中，所述多个导热弓形元件与加热器的电路是分离的，并且由加热器所传递的热量加热。

2.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件限定了连续的环。

3.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件限定了分区排列的对称的段。

4.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件限定了不同的长度。

5.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件限定了不同的材料。

6.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件的至少一个限定了可变的宽度。

7.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件的至少一个限定了可变的追踪几何形状。

8.根据权利要求1的设备，其中所述基质是聚酰亚胺材料。

9.根据权利要求8的设备，其中所述聚酰亚胺材料是聚氧二亚苯基-苯均四酸酰亚胺材料。

10.根据权利要求1的设备，其中所述多个导热弓形元件是石墨纤维。

11.根据权利要求10的设备，其中当所述基座的重量10％包含石墨纤维时，所述基座在径向和轴向方向上的热导率是至少0.4W/mK。

12.根据权利要求10的设备，其中当所述基座的重量88％包含石墨纤维时，所述基座在径向和轴向方向上的热导率小于6.0W/mK。

13.根据权利要求10的设备，其中当基座的重量8％包含石墨纤维时，所述基座在方位角方向上的热导率是至少80W/mK。

14.根据权利要求10的设备，其中当所述基座的重量90％包含石墨纤维时，所述基座在方位角方向上的热导率小于900W/mK。

15.根据权利要求1的设备，其中所述加热器是层化的加热器。

16.一种为目标零件提供热的方法，其包含：

提供基座，其由复合材料制成的，其包含植入基质中的多个导热弓形元件，所述多个导热弓形元件是同心排列的，并且在径向上限定了有间距的预定的间隔；和

通过相邻部件将热施加到所述基座上，

其中在基座的方位角方向上的热导率高于基座的径向(ρ)和轴向(z)方向上的热导率，从而施加到基座的热量沿着所述基座的方位角方向上均匀分布，和

其中，所述多个导热弓形元件与加热器的电路是分离的，并且由加热器所传递的热量加热。