[发明专利]酚醛清漆型树脂及抗蚀膜

权利要求书

1.一种酚醛清漆型树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的环状酚醛清漆型树脂(A)、和具有下述结构部位(α)作为重复单元的非环状酚醛清漆型树脂(B)，树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，树脂中存在的结构部位(α)中的至少一个是l为1的结构部位(α1)、至少一个是l为2的结构部位(α2)，

式(1)中，α为下述结构式(2)所示的结构部位(α)，n为2～10的整数，

式(2)中，R¹为任选具有取代基的烷基、任选具有取代基的芳基中的任意者；R²各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者，任选与萘环上的任意碳原子键合，m为1～5的整数；X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者，-OX基任选与萘环上的任意碳原子键合，l为1或2。

2.根据权利要求1所述的酚醛清漆型树脂，其中，酚醛清漆型树脂中的所述环状酚醛清漆型树脂(A)的含有率为30～95％的范围。

3.根据权利要求1所述的酚醛清漆型树脂，其中，所述结构式(2)中的R¹为任选具有取代基的芳基。

4.根据权利要求1所述的酚醛清漆型树脂，其中，所述结构式(2)中的R¹为具有-OX所示结构部位的芳基，所述芳基的氢原子的一部分被-OX所示的结构部位取代，其中，X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。

5.根据权利要求1所述的酚醛清漆型树脂，其中，所述结构式(2)所示的-OX所示的结构部位中，30～100％为OX'所示的结构部位，其中，X＇为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。

6.一种感光性组合物，其含有权利要求1～5中任一项所述的酚醛清漆型树脂和光产酸剂。

7.一种抗蚀膜，其由权利要求6所述的感光性组合物形成。

8.一种固化性组合物，其含有权利要求1～5中任一项所述的酚醛清漆型树脂和固化剂。

9.权利要求8所述的固化性组合物的固化物。

10.一种抗蚀膜，其由权利要求8所述的固化性组合物形成。