[发明专利]高频电源装置及高频电源装置的控制方法

权利要求书

1.一种高频电源装置，其是对于伴随放电的负载供给高频电力的高频电源装置，其中，该高频电源装置具备：

高频产生电路，其将频率设为可变；

频率控制电路，其输出控制上述高频产生电路的频率变更的控制信号；

反射状态检测电路，其包含检测上述高频产生电路的相位状态的相位检测电路、以及运算上述高频产生电路的输出端的反射系数值及/或反射量的反射运算电路；

控制方向指示电路，其基于上述相位检测电路输出的相位状态，在频率变更中输出指示使频率增加或减少的控制方向的方向指示信号；以及

再控制电路，其向上述频率控制电路输出对上述频率变更进行再次指示的再控制信号，

上述频率控制电路对上述高频产生电路进行通过包含相位控制以及反射电力控制的控制将频率设为可变的频率控制，并且进行基于上述再控制信号进行的对上述高频产生电路的控制信号的输出，其中，

上述相位控制为，在控制开始时，基于上述控制方向指示电路输出的方向指示信号，来控制频率变更中的频率增减，

上述反射电力控制为，在控制完毕时，将上述反射运算电路输出的反射系数值及/或反射量作为控制完毕条件来控制频率变更的持续/停止，

上述再控制电路以通过上述频率变更而决定的频率中的反射系数值及/或反射量作为中心值，并具有将在该中心值的上下具有规定宽幅的反射系数值范围及/或反射量范围作为决定再控制的阈值范围，

当处于以上述反射运算电路检测出的反射系数值为反射系数范围外以及以上述反射运算电路检测出的反射量为上述反射量范围外的至少一方时，输出再控制信号。

2.根据权利要求1所述的高频电源装置，其中，

上述再控制电路以规定时间间隔输出再控制信号，

上述频率控制电路基于上述再控制信号，再次进行反射电力控制。

3.根据权利要求1或2所述的高频电源装置，其中，上述相位检测电路基于高频产生电路的输出端的电压及电流来检测相位状态。

4.根据权利要求1或2所述的高频电源装置，其中，上述相位检测电路基于根据高频产生电路的输出端的电压及电流而求出的相位以及传送路径的相位偏差来检测相位状态。

5.根据权利要求1或2所述的高频电源装置，其中，

在上述高频产生电路的输出端具备电压检测部及电流检测部，

上述相位检测电路基于上述电压检测部的检测电压及上述电流检测部的检测电流来检测上述相位状态。

6.根据权利要求1或2所述的高频电源装置，其中，

在上述高频产生电路的输出端具备方向性检测器，

上述相位检测电路针对由上述方向性检测器分离出的行进波及反射波的分离波，由基于各分离波的电压及电流的相位的相位差来检测上述相位状态。

7.根据权利要求1或2所述的高频电源装置，其中，上述相位检测电路将对由传送线路所造成的相位偏差量进行加法运算而得到的相位作为高频产生电路的输出端的相位状态进行输出。

8.一种高频电源装置的控制方法，其为权利要求1的高频电源装置的控制方法，其特征在于，

在通过上述高频电源装置的频率变更所达成的阻抗匹配，来控制反射电力的频率控制中，具备：

相位控制工序，在控制开始时，基于高频电源装置的相位状态，来决定频率扫掠方向，该频率扫掠方向使频率变更的频率增加或减少；以及

反射电力控制工序，在由上述相位控制工序决定的频率增减所致的频率变更中，将高频电源装置的反射系数值及/或反射量作为控制完毕条件，来控制频率变更的持续/停止，

以通过上述频率变更而决定的频率中的被控制为极小的反射系数值及/或反射量作为中心值，并将在该中心值的上下具有规定宽幅的反射系数值范围及/或反射量范围作为决定再控制的阈值范围，

在上述反射系数值为反射系数范围外以及上述反射量为上述反射量范围外的至少任意一方时，再次进行频率控制。