[发明专利]确定具有电容电极和压电电极的MEMS麦克风的绝对灵敏度的系统和方法

权利要求书

1.一种麦克风系统，包括：

被配置为基于扬声器控制信号来生成声压的扬声器；

MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括：

电容电极，所述电容电极被配置为使得所述声压引起所述电容电极的第一移动，所述电容电极被配置为基于电容控制信号而生成第一机械压力，

位于所述电容电极的第一侧上的背板，和

与所述电容电极耦合的压电电极，所述压电电极被配置为

基于所述声压生成第一压电响应信号，和

基于所述第一机械压力生成第二压电响应信号；和

耦合到所述扬声器、所述电容电极、所述背板和所述压电电极的控制器，所述控制器被配置为

生成所述扬声器控制信号，

基于所述电容电极的所述第一移动而确定第一电容响应；

生成所述电容控制信号，和

基于所述第一电容响应、所述第一压电响应信号和所述第二压电响应信号来确定所述电容电极的绝对灵敏度。

2.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中，所述压电电极还被配置为基于压电控制信号生成第二机械压力。

3.根据权利要求2所述的麦克风系统，其中，所述电容电极还被配置为使得所述第二机械压力引起所述电容电极的第二移动。

4.根据权利要求3所述的麦克风系统，其中，所述控制器还被配置为：

生成所述压电控制信号，

基于所述电容电极的所述第二移动确定第二电容响应，和

基于所述第一电容响应、所述第二电容响应和所述第一压电响应信号确定所述压电电极的绝对灵敏度。

5.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中，所述压电电极位于所述电容电极的第二侧上，其中，所述电容电极的所述第二侧与所述电容电极的所述第一侧相对。

6.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中，所述第一电容响应包括由所述第一移动引起的所述电容电极与所述背板之间的第一电压差。

7.根据权利要求4所述的麦克风系统，其中，所述第一电容响应包括由所述第一移动引起的所述电容电极和所述背板之间的第一电压差，其中所述第二电容响应包括由所述第二移动引起的所述电容电极和所述背板之间的第二电压差。

8.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中，所述第一压电响应信号和所述第二压电响应信号是电压信号。

9.根据权利要求1所述的麦克风系统，其中，所述电容控制信号是电流信号。

10.根据权利要求4所述的麦克风系统，其中，所述电容控制信号和所述压电控制信号是电流信号。

11.一种确定MEMS麦克风的绝对灵敏度的方法，所述MEMS麦克风包括电容电极、背板和耦合到所述电容电极的压电电极，所述方法包括：

由扬声器基于扬声器控制信号而生成声压；

由控制器响应于所述声压而确定所述电容电极的第一电容响应；

由所述控制器响应于所述声压而确定所述压电电极的第一压电响应；

由所述电容电极基于电容控制信号而生成第一机械压力；

由所述控制器响应于所述第一机械压力而确定所述压电电极的第二压电响应；和

由所述控制器基于所述第一电容响应、所述第一压电响应和所述第二压电响应来确定所述电容电极的绝对灵敏度。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括：

由所述压电电极基于压电控制信号而生成第二机械压力；

由所述控制器响应于所述第二机械压力而确定所述电容电极的第二电容响应；和

由所述控制器基于所述第一电容响应、所述第二电容响应和所述第一压电响应来确定所述压电电极的绝对灵敏度。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述声压引起所述电容电极的第一移动。