[发明专利]衬底搬送机器人及其运转方法

权利要求书

1.一种衬底搬送机器人，具备：

机器臂；

末端执行器，设置于所述机器臂，且具有用来保持衬底的衬底保持机构；

臂驱动机构，用来驱动所述机器臂；

机器人控制机构，用来控制所述臂驱动机构；以及

保持力检测机构，用来检测所述衬底保持机构的衬底保持力；且

所述机器人控制机构构成为，基于根据由所述保持力检测机构检测出的所述衬底保持力而决定的所述末端执行器的加速度及速度的至少一者的上限值，而控制所述臂驱动机构；

所述衬底保持机构具有用来产生所述衬底保持力的保持力产生机构；

所述机器人控制机构构成为在所述衬底保持力降至低于正常值的情况下，使所述保持力产生机构的功率增大。

2.根据权利要求1所述的衬底搬送机器人，其中所述机器人控制机构构成为，基于所述末端执行器的加速度及速度两者的上限值而控制所述臂驱动机构。

3.根据权利要求1或2所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底保持机构构成为真空吸附所述衬底；

所述保持力检测机构构成为检测所述衬底保持机构的真空度。

4.根据权利要求1或2所述的衬底搬送机器人，其中所述衬底保持机构具有可释放地卡合于所述衬底的缘部的活动卡合部、及用来驱动所述活动卡合部的柱塞；且

所述保持力检测机构构成为检测所述柱塞的压力。

5.根据权利要求1或2所述的衬底搬送机器人，其中所述机器人控制机构构成为，根据由所述保持力检测机构检测出的所述衬底保持力而连续地变更所述上限值。

6.根据权利要求1或2所述的衬底搬送机器人，其中所述机器人控制机构构成为，根据由所述保持力检测机构检测出的所述衬底保持力而阶梯状地变更所述上限值。

7.一种衬底搬送机器人的运转方法，该衬底搬送机器人具备机器臂，该机器臂设置有包含用来保持衬底的衬底保持机构的末端执行器，且该运转方法具备：

保持力检测步骤，检测所述衬底保持机构的衬底保持力；

上限值决定步骤，根据所述衬底保持力而决定所述末端执行器的加速度及速度的至少一者的上限值；以及

臂驱动步骤，基于所述末端执行器的所述上限值而驱动所述机器臂；且

所述衬底保持机构具有用来产生所述衬底保持力的保持力产生机构；

在所述衬底保持力降至低于正常值的情况下，使所述保持力产生机构的功率增大。

8.根据权利要求7所述的衬底搬送机器人的运转方法，其中所述臂驱动步骤是基于所述末端执行器的加速度及速度两者的上限值而驱动所述机器臂。

9.根据权利要求7或8所述的衬底搬送机器人的运转方法，其根据所述衬底保持力而连续地变更所述上限值。

10.根据权利要求7或8所述的衬底搬送机器人的运转方法，其根据所述衬底保持力而阶梯状地变更所述上限值。