[发明专利]安装头的移动误差检测装置及元件安装装置

说明书

移动误差检测装置包含：多个标记，包含设置在第一、第二基板搬送装置(4A、4B)的可动传送带(11)的可动区域内的第五标记(M5)(可动区域内标记)和设置在可动传送带(11)的可动区域外的第一至第四标记(M1至M4)(可动区域外标记)；基板识别摄像机(26)(摄像装置)，与安装头(20)一起移动并且拍摄所述第一至第五标记(M1至M5)；投影装置(32)(辅助装置)，辅助所述拍摄。第一至第四标记(M1至M4)设置于包含设置在作业位置(Wp)的基板(P)的上表面的水平的基准面(IP)，第五标记(M5)设置在比基准面(IP)低且不与可动传送带(11)干涉的位置。投影装置(32)吸收第五标记(M5)与基准面(IP)的高度之差(h)以辅助基板识别摄像机(26)拍摄第五标记(M5)的聚焦图像。

技术领域

本发明涉及安装头的移动误差检测装置及具备该安装头的移动误差检测装置的元件安装装置，所述安装头的移动误差检测装置为了补正因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差而被组装于元件安装装置。

背景技术

以往，元件安装装置具备使安装头水平移动的驱动系统，由于连续地进行安装动作，因此该驱动系统会发生因发热导致的热变形。这样的热变形会使安装头与元件供应部的元件之间或与基板之间产生偏移，成为导致安装精度下降的主要原因之一。因此，为了解决该问题而有如下的技术：利用与安装头一起移动的基板识别用摄像机来拍摄及识别安装头的可动区域内所设的多个标记，检测该标记的位置变化，将该位置变化作为驱动系统的热变形导致的安装头的移动误差，并根据该移动误差来补正元件的目标搭载位置。

例如，专利文献1公开了如下的技术：在由固定传送带和可动传送带构成的一对基板搬送用传送带的近傍分别设置沿着固定传送带在X方向上排列的一对标记和在Y方向上排列的一对标记，拍摄各标记位置，并根据该拍摄的结果来补正元件的目标搭载位置。该技术中，Y方向上的一对标记为了避免与可动传送带干涉而设于该可动传送带的可动区域的外侧。因此，在基板的尺寸较小的情况下，标记的位置与实际的基板位置便会大幅度离开距离(补正区域相比于基板的尺寸增大)，难以确保补正精度。

另一方面，专利文献2公开了如下的技术：在由固定传送带和可动传送带构成的一对基板搬送用传送带上设置彼此在沿着该传送带的方向(X方向)上错开的一对标记，拍摄这些标记，并根据该拍摄的结果来补正元件的目标搭载位置。根据该技术，标记与可动传送带一起移动，因此，能够消除专利文献1那样的问题。然而，由于标记的位置本身伴随移动误差，因此，难以确保补正精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3253218号

专利文献2：日本专利第5495260号

发明内容

本发明的目的在于：既能够减轻因基板的尺寸所导致的影响又能够精度良好地检测因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差。