[发明专利]液体供给系统及其驱动方法

权利要求书

1.一种液体供给系统，其特征在于，

所述液体供给系统具有：

处理室(121)，其具有规定容积的空间(122)；

第一减压机构(123)，其对所述处理室(121)的空间(122)进行减压；

容器(20)，其收容液体；

计量室(151)，其计量所述液体；

第一通路(111)，其经由所述计量室(151)而将所述容器(20)和所述处理室(121)连接；

第一阀(131)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述计量室(151)之间；

第二阀(132)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述计量室(151)与所述处理室(121)之间；以及

控制部(90)，其对减压机构、所述第一阀(131)以及所述第二阀(132)进行控制，

所述控制部(90)具有：

a)第一机构，其执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；

b)第二机构，其执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；

c)第三机构，其执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；

d)第四机构，其执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及

e)第五机构，其执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室；

所述液体供给系统具有：

分支部(141)，其位于所述第一通路(111)上，被设置于所述容器(20)与所述第一阀(131)之间；

第二通路(112)，其一端与所述分支部(141)连接；

第二减压机构(153)，其与所述第二通路(112)的另一端连接；以及

暂时贮藏室(154)和第三阀(133)，它们从所述一端朝向所述另一端依次设置在所述第二通路(112)上，

所述液体供给系统具有f)第六机构，该第六机构执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述暂时贮藏室为止的所述第二通路部分。

2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

所述液体供给系统具有第七机构，该第七机构执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器(20)到所述第三阀(133)为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器(20)。