[发明专利]麦克风有效
申请号: | 201680073855.4 | 申请日: | 2016-12-01 |
公开(公告)号: | CN108370477B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | S·帕尔;桑·博克·李 | 申请(专利权)人: | 美商楼氏电子有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R11/04;H04R1/02;B81B3/00;B32B3/30 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 麦克风 | ||
1.一种麦克风,所述麦克风包括:
底座,所述底座具有延伸穿过所述底座的端口;
微机电系统器件,该微机电系统器件联接到所述底座,所述微机电系统器件包括膜片、背板以及基板,所述基板形成有背孔;以及
毛细管结构,该毛细管结构设置在所述基板的所述背孔中并且与所述基板成一体,所述毛细管结构包括延伸穿过所述毛细管结构的多个毛细管,所述毛细管结构被构造成阻止来自所述麦克风外部的污染物经由所述端口到达所述膜片。
2.根据权利要求1所述的麦克风,其中,所述毛细管结构包括至少一个疏水面。
3.根据权利要求2所述的麦克风,其中,所述至少一个疏水面是至少一个毛细管壁,并且其中,所述毛细管壁包括疏水涂层。
4.根据权利要求3所述的麦克风,其中,所述疏水涂层是聚对二甲苯聚合物。
5.根据权利要求2所述的麦克风,其中,所述至少一个疏水面是至少一个毛细管壁,并且其中,所述毛细管壁沿着所述毛细管壁的长度包括多个槽。
6.根据权利要求5所述的麦克风,其中,所述多个槽沿着所述毛细管壁的所述长度不同地隔开以提供疏水性梯度。
7.根据权利要求1所述的麦克风,所述麦克风还包括设置在所述毛细管结构的表面上的亲水层。
8.根据权利要求1所述的麦克风,其中,所述毛细管结构设置在全部所述背孔中。
9.根据权利要求1所述的麦克风,其中,所述毛细管结构提供对电磁干扰的屏蔽。
10.一种麦克风,所述麦克风包括:
底座;
盖,所述盖具有端口,该端口被设置成穿过该盖;
微机电系统器件,该微机电系统器件联接到所述底座,所述微机电系统器件包括膜片和背板;以及
毛细管结构,该毛细管结构连接到所述微机电系统器件,所述毛细管结构包括延伸穿过所述毛细管结构的多个毛细管,所述毛细管结构被构造成阻止来自所述麦克风外部的污染物到达所述膜片。
11.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述毛细管结构覆盖所述端口并减轻侵入。
12.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述微机电系统器件包括基板,所述基板形成有背孔,并且其中,所述毛细管结构设置在全部所述背孔中。
13.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述毛细管结构被形成为与所述微机电系统器件成一体。
14.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述毛细管结构包括连接到所述微机电系统器件的第一毛细管结构,并且其中,所述麦克风还包括覆盖所述端口的的第二毛细管结构。
15.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述毛细管结构具有至少一个疏水面。
16.根据权利要求10所述的麦克风,其中,所述毛细管结构提供对电磁干扰的屏蔽。
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