[发明专利]中心固定的MEMS麦克风膜

权利要求书

1.一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括：

具有预先确定的刚度和中心区域的膜，其中所述膜包括表面和安置在所述表面上的起皱，所述起皱设置膜的预先确定的刚度；

至少一个弹簧，所述至少一个弹簧具有第一端部和第二端部，所述第一端部连接至所述膜，并且所述弹簧提供用来在所述膜上生成偏压的电路径，其中所述弹簧由所述膜的一部分形成；

背板，所述背板相对于所述MEMS麦克风的外壳而言是刚性的并且相对于所述膜是电偏压的；和

连接至所述膜的所述中心区域且连接至所述背板的支撑件，所述支撑件安置在所述膜和所述背板之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜具有近似中心，并且所述近似中心通过支撑件相对于所述背板位置上固定。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中所述膜的所述近似中心是所述膜的地理中心。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述背板包括被配置成允许声压通过所述背板并去向所述膜的穿孔。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜被配置成，当所述膜接收入射声压时在所述支撑件周围弯曲。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风进一步包括连接至所述背板的超程停止件，所述超程停止件延伸通过所述膜中的孔径。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其中所述超程停止件包括：

固定至所述背板的第一端部，

延伸通过所述膜的所述孔径的结构，和

安置在所述膜的相对于所述第一端部的相对侧上的第二端部，所述第二端部被配置成使所述膜在径向方向上的移动停止。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风仅包括单个弹簧。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述至少一个弹簧是沿着所述膜的外围的一部分安置的。

10.一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括：

具有预先确定的刚度和中心区域的膜，其中所述膜包括表面和安置在所述表面上的结构，所述结构选自由圆梁和辐条组成的组，所述结构设置膜的预先确定的刚度；

至少一个弹簧，所述至少一个弹簧具有第一端部和第二端部，所述第一端部连接至所述膜，并且所述弹簧提供用来在所述膜上生成偏压的电路径，其中所述弹簧由所述膜的一部分形成；

背板，所述背板相对于所述MEMS麦克风的外壳而言是刚性的并且相对于所述膜是电偏压的；和

连接至所述膜的所述中心区域且连接至所述背板的支撑件，所述支撑件安置在所述膜和所述背板之间。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其中所述膜具有近似中心，并且所述近似中心通过支撑件相对于所述背板位置上固定。

12.根据权利要求11所述的MEMS麦克风，其中所述膜的所述近似中心是所述膜的地理中心。

13.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其中所述背板包括被配置成允许声压通过所述背板并去向所述膜的穿孔。

14.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其中所述膜被配置成，当所述膜接收入射声压时在所述支撑件周围弯曲。

15.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风仅包括单个弹簧。

16.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其中所述至少一个弹簧是沿着所述膜的外围的一部分安置的。