[发明专利]用于监视在太阳能模块中形成隔离槽的激光划片过程的方法和系统

权利要求书

1.一种用于监视在太阳能模块中形成隔离槽的激光划片过程的方法，所述方法包括以下步骤：

提供半成品太阳能模块，所述半成品太阳能模块包括在透明衬底上的功能层堆叠，所述功能层堆叠包括第一接触层、光伏层以及第二接触层中的至少一个，

使用激光束在所述功能层堆叠中的至少一个层内形成隔离槽，所述激光束去除在所述隔离槽的区域中的所述功能层堆叠中的所述至少一个层，

在半成品太阳能模块的第一表面处照射所述半成品太阳能模块的区域，其中照射区在第一侧向方向上覆盖所述隔离槽的至少一部分且在正交于所述第一侧向方向的第二侧向方向上覆盖整个隔离槽和周围区域，

在半成品太阳能模块的第二表面处检测透射通过所述半成品太阳能模块的所述照射区的光的量，其中用于检测所述光的装置与用于照射的装置布置在相同的光轴处，

通过比较所述检测到的光的量与至少一个参考值来评估所述照射区中形成的所述隔离槽，以及

用对于具有第三波长的光具有第一透射率的材料填充所述隔离槽，所述功能层堆叠中的被去除的至少一个层对于所述第三波长为不透明的，且所述透明衬底和所述功能层堆叠中的未被去除的所有层对所述第三波长为透明的，所述功能层堆叠中的未被去除的所有层对于所述第三波长的透射率为第二透射率，所述第二透射率大于所述第一透射率，所述半成品太阳能模块的所述区域在用材料填充所述隔离槽的步骤之后被照射，其中具有所述第三波长的光用于照射，且填充到所述隔离槽中的所述材料的特性通过将所述检测到的光的量与相应的参考值进行比较来评估。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述半成品太阳能模块的所述区域用包括第一波长的光照射，所述透明衬底和所述功能层堆叠中的未被去除的所有层对于所述第一波长为透明的，且所述功能层堆叠中的被去除的至少一个层对于所述第一波长为不透明的。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述功能层堆叠包括至少两个层，

所述功能层堆叠中的至少一个层在所述隔离槽的所述区域中被去除，

所述照射的步骤包括：用具有第一波长的光照射所述半成品太阳能模块的第一子步骤，所述透明衬底和所述功能层堆叠中的未被去除的所有层对于所述第一波长为透明的，且所述功能层堆叠中的被去除的至少一个层对于所述第一波长为不透明的；以及用具有第二波长的光照射所述半成品太阳能模块的第二子步骤，所述透明衬底对于所述第二波长为透明的，且所述功能层堆叠中的被去除的至少一个层对于所述第二波长为不透明的，且所述功能层堆叠中的被去除且对所述第一波长为不透明的至少另一层对所述第二波长为透明的，或所述功能层堆叠中的未被去除的至少一个层对于所述第二波长为不透明的，

所述检测的步骤包括：检测具有所述第一波长并透射通过所述半成品太阳能模块的第一光的量的第一子步骤，以及检测具有所述第二波长并透射通过所述半成品太阳能模块的第二光的量的第二子步骤，以及

通过将所述检测到的第一光的量和所述检测到的第二光的量与相应的参考值比较来评估所形成的隔离槽。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，用于形成所述隔离槽的所述激光束在所述半成品太阳能模块的所述第一表面或所述第二表面上相对移动，且所述用于照射的装置和所述用于检测所述光的装置以与所述激光束相同的方式相应地在所述半成品太阳能模块的所述第一表面或所述第二表面上相对移动，所述照射、检测以及评估的步骤针对沿着所述第一侧向方向沿着所述隔离槽的延伸部布置的多个区域执行。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述用于照射的装置和所述用于检测所述光的装置以固定距离直接跟随所述激光束。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，一系列连续的检测到的光的量在所述用于照射的装置的和所述用于检测所述光的装置的移动期间获取，在所述评估的步骤中执行统计评估例程，如果通过所述统计评估例程检测到需要改变参数，则所述方法还包括改变产生所述激光束的装置的参数的步骤。