[发明专利]一种确定测量对象层厚或者距离的太赫兹测量方法和太赫兹测量设备

权利要求书

1.一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其中从太赫兹收发装置(4)沿着光轴C往待测量对象上发射至少一束太赫兹光束(7a)，并且检测穿过或者到达管壁(3)的至少一管壁(3)的表面并被反射回来的太赫兹光束(7b)，其中对检测到的反射的太赫兹光束(7b)的测量信号进行分析，并通过所述管壁(3)的外表面和/或内表面处反射的太赫兹光束(7b)的传播时间差t2-t1来确定层厚d和/或者距离，该方法特点在于使用不同的光轴C进行多次测量，在测量时或者两次测量之间调整发射的太赫兹光束(7a)的光轴C并使用所述多次测量中的一次来确定所述层厚d和/或者距离；

所述发射的太赫兹光束(7a)的所述光轴C连续且周期性在角度α范围内以及距离s范围内调整的，并且在调整时记录下多次测量结果，所述多次测量结果会被相互对比，其中振幅A最大或者检测信号最高的测量结果会被用作确定所述层厚d的测量结果。

2.根据权利要求1所述的一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于通过传感器检测所述管壁(3)的表面，并且依据所述传感器的测量结果对发射的太赫兹光束(7a)的光轴C进行找正和重新调整到所述传感器确定的最近位置。

3.根据权利要求1所述的一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于所述发射的太赫兹光束(7a)的所述光轴C周期性地沿着并不相互平行的两个方向调整，两个方向呈直角，且两个方向以角度α范围内以及距离s范围内调整。

4.根据权利要求2所述的一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于所述光轴C周期性地在一个方向上以角度α进行调整并且进一步地，发射所述太赫兹光束(7a)到待测量对象(2)上的测头的距离也是周期性调整的。

5.根据权利要求4所述的一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于所述发射的太赫兹光束(7a)的所述光轴C是通过以所述角度α转动所述太赫兹收发装置(4)的测头的方式调整的。

6.根据权利要求5所述的一种通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特点在于所述太赫兹收发装置(4)包括包含一个用于改变发射及反射的太赫兹光束(7a)和太赫兹光束(7b)的方向的可调整镜子(11)的镜子阵列的太赫兹收发装置，所述可调整镜子调整作用是改变所述光轴C。

7.根据权利要求4所述的通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特点在于所述发射的太赫兹光束(7a)射到所述管壁(3)的塑料管外表面或者塑料板外表面上的位置是由传播时间确定并确认的。

8.根据权利要求6所述的通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于所述发射的太赫兹光束(7a)的所述光轴C在测量过程中或者在两次测量之间会以垂直于所述光轴C的调整方向E平移调整。

9.根据权利要求1～6任一所述的通过太赫兹光束测量待测量对象层厚或者距离的方法，其特征在于生产设备生产的塑料产品，塑料管或者塑料板(102)，在被生产后，会在运输方向被连续导入到包含至少一个太赫兹收发装置(4)的太赫兹测量设备(1)中，并通过所述太赫兹收发装置(4)检查层厚d，

其中发射的所述太赫兹光束(7a)的所述光轴C会被找正成垂直于所述运输方向，并在垂直于所述运输方向的一个平面上调整，

其中层厚d是通过传播时间测量确定的，其中在所述太赫兹光束(7a)进入所述管壁(3)的一个塑料管外表面或者塑料板外表面时反射的第一个测量峰值p1和稍后在传输经过所述管壁(3)并离开所述管壁(3)时反射的第二个测量峰值p2的时间差确定的，层厚d是通过公式d＝c(t2-t1)/2n计算的，

其中c表示光在真空中的速度，n是塑料材料折射所述太赫兹光束(7a)的系数，而t2-t1表示所述第一个测量峰值p1和所述第二个测量峰值p2之间的时间差。