[发明专利]用于高速涂覆的真空沉积装置

权利要求书

1.一种用于高速涂覆的真空沉积装置，包括：

真空腔室，内部设有容纳空间；

蒸发坩埚，配置在所述容纳空间中，用于蒸发涂覆物质；以及

旋风过滤器，配置在所述容纳空间中，

所述旋风过滤器分离蒸发所述涂覆物质时产生的蒸汽和粗大粒子。

2.根据权利要求1所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，还包括导流体，所述导流体防止通过所述旋风过滤器排出的蒸汽的旋转。

3.根据权利要求2所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

所述导流体包括：多个水平板，相互隔开配置；以及多个垂直板，垂直于所述水平板且相互隔开配置，

所述水平板和所述垂直板一体形成。

4.根据权利要求2所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

所述导流体由多个板形成，所述多个板以虚拟线(C)为基准沿着圆周方向相互隔开配置。

5.根据权利要求1所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，还包括连接部，所述连接部配置在所述蒸发坩埚与所述旋风过滤器之间。

6.根据权利要求1所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，还包括蒸汽引导部，所述蒸汽引导部引导通过所述旋风过滤器分离的蒸汽被喷射到待涂覆件上。

7.根据权利要求1所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

所述旋风过滤器包括旋风过滤器本体和配置在所述旋风过滤器本体下部的收集部，所述旋风过滤器本体的侧面形成有入口，所述旋风过滤器的上部形成有出口。

8.根据权利要求7所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

由蒸发涂覆物质的蒸发坩埚产生的蒸汽和粗大粒子通过所述入口向所述旋风过滤器内部移动，所述蒸汽通过旋风方式向所述出口排出，所述粗大粒子被收集部收集。

9.根据权利要求7所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

所述旋风过滤器本体的内部直径(D1)为1时，所述出口的直径(D2)形成为0.2～0.8，所述收集部的底部直径(D3)形成为0.1～0.8。

10.根据权利要求9所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，其中，

所述旋风过滤器本体的高度(H1)形成为0.3～5，所述收集部的高度(H2)形成为0.3～10，所述入口的高度(H3)形成为0.2～1，所述入口的宽幅(W)形成为0.1～0.5。

11.根据权利要求1所述的用于高速涂覆的真空沉积装置，还包括加热装置，所述加热装置对所述容纳空间进行加热，并加热至预定的温度。