[发明专利]线束光源及线束照射装置以及激光剥离方法

权利要求书

1.一种线束照射装置，其特征在于，包括：

工作台；

线束光源，其利用线束来照射放置于所述工作台上的工件；及

输送装置，其使所述工作台及所述线束光源的至少一者移动，以使所述工件上的所述线束的照射位置在与所述线束交叉的方向上移动，

所述线束光源具有多个半导体激光元件、及支承所述多个半导体激光元件的支承体，

所述多个半导体激光元件分别具有半导体层叠结构，该半导体层叠结构具有包含射出激光的发光区域的端面，所述发光区域具有与所述半导体层叠结构的层叠方向平行的快轴方向的尺寸及与所述层叠方向垂直的慢轴方向的尺寸，

所述多个半导体激光元件沿在所述快轴方向上延伸的同一条线排列，从所述多个半导体激光元件各自的所述发光区域射出的所述激光通过衍射效应各向异性地在所述同一条线平行地扩散而形成所述线束，

从所述多个半导体激光元件各自的所述发光区域射出的所述激光在所述快轴方向上未经准直。

2.如权利要求1所述的线束照射装置，其特征在于，

所述发光区域的所述慢轴方向的尺寸为所述快轴方向的尺寸的50倍以上。

3.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

所述多个半导体激光元件中，所述快轴方向上相邻的任意2个半导体激光元件的中心间距离为20mm以上。

4.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

包括光学构件，其使从所述多个半导体激光元件各自的所述发光区域射出的所述激光在所述慢轴方向上准直或聚集。

5.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

包括致动器，其使所述多个半导体激光元件在所述快轴方向上振动或移动。

6.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

包括激光二极管驱动电路，其驱动所述多个半导体激光元件。

7.如权利要求6所述的线束照射装置，其特征在于，

所述激光二极管驱动电路驱动所述多个半导体激光元件的每一个。

8.如权利要求7所述的线束照射装置，其特征在于，

所述激光二极管驱动电路是以调制所述线束的空间强度分布的方式驱动所述多个半导体激光元件。

9.如权利要求8所述的线束照射装置，其特征在于，包括：

传感器，其检测所述工件的结构或状态，

所述激光二极管驱动电路基于由所述传感器检测出的所述工件的结构或状态，使所述线束的空间强度分布随时间变化。

10.如权利要求9所述的线束照射装置，其特征在于，所述传感器为影像传感器。

11.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

所述线束光源具有由所述支承体支承的多个辅助半导体激光元件，

所述多个辅助半导体激光元件分别具有半导体层叠结构，该半导体层叠结构具有包含射出激光的发光区域的端面，所述发光区域具有与所述半导体层叠结构的层叠方向平行的快轴方向的尺寸及与所述层叠方向垂直的慢轴方向的尺寸，

所述多个辅助半导体激光元件沿在所述快轴方向上延伸的第2同一条线排列，且所述第2同一条线与所述同一条线平行。

12.如权利要求1或2所述的线束照射装置，其特征在于，

所述多个半导体激光元件分别收容于封装体或插装件中，

所述支承体具有可装卸地保持所述封装体或插装件的连接装置。