[发明专利]椭偏仪在审
| 申请号： | 201680075955.0 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108431562A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 上原诚 | 申请（专利权）人： | 株式会社目白67 |
| 主分类号： | G01J4/04 | 分类号： | G01J4/04;G02B5/30;G02B17/08;G02B5/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;青炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成像光学系统 检偏镜 椭偏仪 凹面主镜 反射型 物体表面 反射光 受光面 副镜 凸面 成像 反射光成像 偏振光元件 顺序反射 折射率 | ||
【权利要求书】：
1.一种椭偏仪，其中，
具备用于使来自物体表面的反射光的光束在受光面成像的成像光学系统，
上述成像光学系统由等倍反射型成像光学系统构成，该等倍反射型成像光学系统包含凹面主镜和凸面副镜，能够在使来自上述物体表面的反射光的光束按照上述凹面主镜、上述凸面副镜、上述凹面主镜的顺序反射后在上述受光面成像，
上述等倍反射型成像光学系统包含检偏镜，
上述检偏镜由在X轴方向和Y轴方向具有相同折射率的偏振光元件构成。
2.根据权利要求1所述的椭偏仪，其中，
上述检偏镜包含第一检偏镜和第二检偏镜，
在上述物体表面与上述凹面主镜之间的光路上配置有上述第一检偏镜，
在上述凹面主镜与上述受光面之间的光路上配置有上述第二检偏镜。
3.根据权利要求1或2所述的椭偏仪，其中，
上述检偏镜是板型偏振光元件或者棱镜型偏振光元件。
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