[发明专利]ICP质谱分析装置

权利要求书

1.一种ICP质谱分析装置，其特征在于，具备：

装置主体部，其经由控制气体流量的气体流量控制部将等离子体产生用的氩气和试样气体供给到等离子体喷枪的反应管，并且对所述等离子体喷枪的高频线圈施加来自高频电源的高频电压，由此使试样气体离子化，将所产生的试样离子从样品导入部引入到质谱仪中来进行质谱分析；

冷却水系统，其对包括所述高频电源、所述高频线圈以及所述样品导入部的需要冷却的被冷却构造部连接水冷用配管的流路，来将来自水源的冷却水供给到所述被冷却构造部；以及

氩气供给系统，其对所述气体流量控制部连接气体用配管的流路，来从氩气源供给氩气，

其中，在所述冷却水系统中设置有：主阀，其连接于所述水冷用配管的上游侧的流路；吹扫气体流路，其以从所述气体用配管分支且在比所述主阀靠下游侧的位置经由吹扫阀与所述水冷用配管合流的方式进行流路连接；以及中间阀，其连接于比所述吹扫气体流路的合流点靠下游侧的水冷用配管的流路，

所述被冷却构造部在比所述中间阀靠下游侧的位置连接于所述水冷用配管的流路，

该ICP质谱分析装置还具备使所述主阀、所述吹扫阀以及所述中间阀的开闭控制协作地进行的阀控制部，

所述阀控制部进行以下的间歇吹扫控制：在使所述主阀为关闭状态且使所述吹扫阀为打开状态来经由吹扫气体流路输送氩气时，使所述中间阀间歇性地打开和关闭以在所述中间阀的上游侧重复进行氩气的蓄压和释放。

2.根据权利要求1所述的ICP质谱分析装置，其特征在于，

在比所述吹扫阀靠下游侧的吹扫气体流路上设置有由直径与该吹扫气体流路的配管直径相同或者直径比该吹扫气体流路的配管直径细的配管构成的配管阻力件。

3.根据权利要求1或2所述的ICP质谱分析装置，其特征在于，

所述冷却水系统的水冷用配管在比所述吹扫气体流路的合流点靠下游侧的位置被分支为具有第一中间阀的旁通流路以及将第二中间阀和所述高频电源按先所述第二中间阀再所述高频电源的顺序串联地进行流路连接的高频电源冷却流路，

所述样品导入部与所述高频线圈连接于所述旁通流路和所述高频电源冷却流路的下游侧的流路，

所述阀控制部在进行所述间歇吹扫控制时进行以下控制：使所述第一中间阀和所述第二中间阀同时为打开状态，来同时对所述旁通流路和所述高频电源冷却流路进行吹扫。

4.根据权利要求1或2所述的ICP质谱分析装置，其特征在于，

所述冷却水系统的水冷用配管在比所述吹扫气体流路的合流点靠下游侧的位置被分支为具有第一中间阀的旁通流路以及将第二中间阀和所述高频电源按先所述第二中间阀再所述高频电源的顺序串联地进行流路连接的高频电源冷却流路，

所述样品导入部与所述高频线圈连接于所述旁通流路和所述高频电源冷却流路的下游侧的流路，

所述阀控制部在进行所述间歇吹扫控制时进行以下控制：将所述第一中间阀和所述第二中间阀交替地逐一变为打开状态，来对所述旁通流路和所述高频电源冷却流路逐一地进行吹扫。