[发明专利]碳化硅半导体装置有效
申请号: | 201680077297.9 | 申请日: | 2016-01-05 |
公开(公告)号: | CN108475703B | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 田所千广;田口健介 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅 半导体 装置 | ||
1.一种碳化硅半导体装置,其具有:
碳化硅衬底,其设置有第1面和与所述第1面相反的第2面,该碳化硅衬底具有n型区域和p型区域,该n型区域将所述第1面和所述第2面连接,该p型区域与所述n型区域接触,将所述第1面和所述第2面连接;
第1阳极电极,其在所述第1面之上与所述n型区域肖特基接合;
第1阴极电极,其在所述第2面之上与所述n型区域欧姆接合;
第2阳极电极,其在所述第1面之上与所述p型区域欧姆接合;
第2阴极电极,其在所述第2面之上与所述p型区域肖特基接合;以及
p型阱,其在所述n型区域之上局部地形成所述第1面,
所述第2阳极电极具有比所述第2阴极电极的面积大的面积。
2.根据权利要求1所述的碳化硅半导体装置,其中,
所述p型区域具有比所述n型区域的宽度小的宽度。
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