[发明专利]试料支架、离子铣削装置、试料加工方法、试料观察方法、以及试料加工观察方法

权利要求书

1.一种试料支架，以横切离子束的照射轨迹的方式插入至离子铣削装置，并在试料加工后从上述离子铣削装置拔出，上述试料支架的特征在于，具备：

把持部；

试料支架主体，其从上述把持部延伸；

前端部，其与上述试料支架主体连接，并设有用于固定试料的试料台；以及

机构，其是使上述前端部从上述前端部与上述试料支架主体成为水平的状态向与设置有照射上述离子束的离子源的方向相反的方向旋转的机构，且用于变更固定于上述试料台的上述试料的加工面与上述离子束的照射方向的相对位置关系，避免在试料加工过程中对上述前端部照射上述离子束。

2.根据权利要求1所述的试料支架，其特征在于，

上述机构使上述前端部绕设于上述前端部与上述试料支架主体之间的连接部分的旋转轴旋转。

3.根据权利要求2所述的试料支架，其特征在于，

上述机构具备：

第一轴，其收纳于上述试料支架主体的内部，从上述连接部分向上述把持部的方向延伸，并具有第一齿轮；和

第二轴，其与上述旋转轴为同一轴，并具有第二齿轮，

若施加用于使上述第一轴绕上述第一轴的轴旋转的旋转力，则经由上述第一齿轮向上述第二齿轮传递上述旋转力，使上述第二轴旋转。

4.根据权利要求1所述的试料支架，其特征在于，

在上述前端部与上述试料支架主体成为水平的状态下，上述试料台以上述试料的加工面与照射上述离子束的离子源对置的方式固定上述试料。

5.根据权利要求4所述的试料支架，其特征在于，

在上述前端部旋转至与设置有上述离子源的方向相反一侧的状态下，上述试料台以上述加工面与上述离子束的照射方向平行的方式固定上述试料。

6.一种离子铣削装置，利用离子束来加工试料，上述离子铣削装置的特征在于，具备：

试料室；

离子源，其发出上述离子束并安装于上述试料室；

试料支架，其以横切上述离子束的照射轨迹的方式插入，并在试料加工后拔出；以及

载物台，对插入后的上述试料支架进行保持，

上述试料支架具备：

把持部；

试料支架主体，其从上述把持部延伸；

前端部，其与上述试料支架主体连接，并设有用于固定上述试料的试料台；以及

机构，其是使上述前端部从上述前端部与上述试料支架主体成为水平的状态向与设置有照射上述离子束的离子源的方向相反的方向旋转的机构，且用于变更固定于上述试料台的上述试料的加工面与上述离子束的照射方向的相对位置关系，避免在试料加工过程中对上述前端部照射上述离子束。

7.根据权利要求6所述的离子铣削装置，其特征在于，

上述试料支架的上述机构是使上述前端部绕设于上述前端部与上述试料支架主体之间的连接部分的旋转轴旋转的机构，

上述机构具备：

第一轴，其收纳于上述试料支架主体的内部，从上述连接部分向上述把持部的方向延伸，并具有第一齿轮；和

第二轴，其与上述旋转轴为同一轴，并具有第二齿轮，

若施加用于使上述第一轴绕上述第一轴的轴旋转的旋转力，则经由上述第一齿轮向上述第二齿轮传递上述旋转力，使上述第二轴旋转。

8.根据权利要求6所述的离子铣削装置，其特征在于，

还具备摆动机构，该摆动机构使上述试料支架的上述前端部相对于上述试料支架主体的轴沿顺时针方向以及逆时针方向各旋转预定角度。

9.根据权利要求8所述的离子铣削装置，其特征在于，

上述摆动机构具备：

马达；

控制部，其控制上述马达的旋转；以及

载物台侧齿轮，其与上述马达的齿轮啮合，并设于上述载物台的外侧，

利用上述马达的旋转使上述载物台相对于上述试料支架的轴沿顺时针方向以及逆时针方向各旋转预定角度，从而安装于上述载物台的上述试料支架各旋转上述预定角度。