[发明专利]用于在固体中平坦地产生改性部的方法和设备

权利要求书

1.一种用于在固体(1)中产生改性部的方法，其中通过所述改性部(2)预设裂纹引导区域(4)，所述裂纹引导区域用于引导裂纹，以将固体部分(6)与所述固体(1)分离，

所述方法至少包括如下步骤：

使所述固体(1)相对于激光加载装置(8)移动；

借助于所述激光加载装置(8)依次发射多个激光束(10)，以在所述固体(1)之内分别产生至少一个改性部(2)，

其中所述激光加载装置(8)设定为，连续地根据至少一个参数，将所述激光束(10)受限地聚焦和/或调整激光能量，以及

所述参数是在所述固体的预定的位置处或在所述固体的预定的区域中所述固体的掺杂度。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

第一参数是所述固体(1)的材料的平均折射率或所述固体(1)在所述固体(1)的由激光束(10)穿过以产生受限的改性部(2)的区域中的材料的折射率；而第二参数是在所述固体(1)的由激光束(10)穿过以产生受限的改性部(2)的区域中的加工深度。

3.根据权利要求2所述的方法，

其特征在于，

借助于折射率确定机构确定所述第一参数；和/或

借助于形貌确定机构确定所述第二参数。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，

其特征在于，

在数据存储装置(12)中提供关于参数的数据，并且至少在产生所述改性部(2)之前将所述数据输送给控制装置(14)，其中所述控制装置(14)根据要产生的改性部(2)的相应的位置设定所述激光加载装置(8)。

5.根据权利要求4所述的方法，

其特征在于，

所述控制装置(14)也处理关于距离参数的距离数据，以设定所述激光加载装置(8)，其中所述距离参数描述将激光束(10)在产生改性部的时间点引入所述固体(1)中以产生相应的改性部(2)的相应的位置相对于所述激光加载装置(8)的间距，其中借助于传感器装置(16)检测所述距离数据。

6.根据权利要求2或3所述的方法，

其特征在于，

根据在产生改性部期间分别借助于传感机构进行的所述第一参数和所述第二参数的确定，进行所述激光加载装置(8)的设定。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，

其特征在于，

所述固体的预定的位置或所述固体的预定的区域在所述固体内部。

8.根据权利要求7所述的方法，

其特征在于，

通过分析具有非弹性散射的背散射的光确定掺杂度，其中所述背散射的光具有与为了触发背散射而受限地射入的光不同的波长或不同的波长范围，其中所述背散射的光从预先限定的位置起或从预定的区域起进行背散射。

9.根据权利要求7所述的方法，

其特征在于，

借助于涡流测量确定所述掺杂度，其中确定在固体材料中的导电率差。

10.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述固体部分(6)是固体层。

11.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述激光加载装置(8)设定为，连续地根据多个参数，将所述激光束(10)受限地聚焦和/或调整激光能量。

12.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述激光加载装置(8)设定为，连续地根据至少两个参数，将所述激光束(10)受限地聚焦和/或调整激光能量。

13.根据权利要求3所述的方法，

其特征在于，

借助于光谱反射确定所述第一参数。