[发明专利]薄膜触控传感器及其制作方法有效
申请号: | 201680078385.0 | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN108604137B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 金商国;朴盛焕;朴胜俊;赵成勋 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;C08F232/08;B32B15/08 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 杨黎峰;钟锦舜 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 传感器 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种薄膜触控传感器及其制作方法,更具体地,涉及一种薄膜触控传感器及其制作方法,该薄膜触控传感器包含:分离层;保护层,其设置于该分离层上;以及电极图案层,其设置于该保护层上并且包括绝缘层,该绝缘层通过将包含具有式1或2表示的重复单元的聚合物的绝缘层形成组合物固化而形成,使得可抑制可能在高温沉积和退火工序中发生的绝缘层上的热损伤例如褶皱、裂纹等,并且可显著降低从载体基板分离时的裂纹发生率。
技术领域
本发明关于一种薄膜触控传感器及其制作方法。
背景技术
由于触控输入型作为下一代输入型引人关注,正在尝试将触控输入型引入更广泛种类的电子装置中。因此,一直积极进行能够应用于不同环境并精确识别触控的触控传感器的研究及开发。
举例而言,在具有触控输入型显示器的电子装置的情形中,实现超轻及低功率损耗并且便携性改善的超薄柔性显示器作为下一代显示器引人关注,因而需要开发一种适用于这种显示器的触控传感器。
柔性显示器是指在能够弯曲、折叠或扭曲且不降低操作特性的柔性基板上制作的显示器,并且其技术已以例如柔性液晶显示器(liquid crystal display;LCD)、柔性有机发光二极管(Organic Light Emitting Display;OLED)、电子纸等形式开发出来。
为了将触控输入型应用于这种柔性显示器,需要具有优异的弯曲性及回复力以及出众的柔性及弹性的触控传感器。
关于用于制作这种柔性显示器的薄膜触控传感器,已提出一种包含埋置于透明树脂基膜中的布线的布线基板。
一种制作薄膜触控传感器的方法包括:在载体基板上形成金属布线的布线形成工序、施涂透明树脂溶液至载体基板并干燥以覆盖该金属布线的层叠工序、以及从载体基板剥离透明树脂溶液的剥离工序。
为了顺利地进行剥离工序,上述制作方法使用其中预先在基板的表面上形成例如有机硅树脂或氟树脂等有机剥离剂;或例如类金刚石碳(diamond-like carbon,DLC)薄膜或氧化锆薄膜等无机剥离剂的方法。然而,在上述方法中使用无机剥离剂的情形中,当从载体基板剥离基膜及金属布线时,无法顺利地自其剥离基膜及金属布线,使得基膜或金属布线的一部分残留在载体基板上,并且用作剥离剂的有机材料出现在基膜及金属布线的表面上。
为了解决上述问题,韩国专利登记公开第1191865号公开一种方法,其中在制作其中埋置有金属布线的形式的柔性基板的步骤中,在载体基板上形成能够用光或溶剂移除的牺牲层(sacrificial layer)、金属布线及聚合物材料(柔性基板),并且通过使用光或溶剂移除牺牲层,由此从载体基板移除金属布线及聚合物材料(柔性基板)。
然而,上述方法的问题在于,在具有大尺寸的情形中,在其移除工序中难以移除牺牲层,金属布线直接曝露于例如溶剂等液体,并且由于无法进行高温工序而无法使用各种基膜。
也存在以下问题:保护层、绝缘层等会由于剥离期间施加于薄膜触控传感器的应力而受损。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种包含用于覆盖电极图案层的保护层的薄膜触控传感器。
本发明的另一目的在于提供一种能够在将其从载体基板剥离期间显著降低裂纹的发生率的薄膜触控传感器。
另外,本发明的另一目的在于提供一种薄膜触控传感器,该薄膜触控传感器由于包含具有优异耐热性的绝缘层而能够抑制可能在高温沉积及退火工序中发生的热损伤。
此外,本发明的另一目的在于提供一种制作上述薄膜触控传感器的方法。
本发明的上述目的将通过以下特性实现:
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