[发明专利]用于提高OLED照明的提取效率的多功能分级纳米和微透镜

权利要求书

1.制造纳米图案化的微透镜的方法，所述方法包括：

(a)形成具有图案化特征的压印模板，其包括：

(i)在支撑衬底上制备自组装单层；

(ii)形成图案化的支撑衬底，其中所述图案化的支撑衬底包括对应于所述压印模板和制造的纳米图案化的微透镜的图案化特征；

(iii)施加液体树脂组合物至所述图案化的支撑衬底和固化所述树脂组合物；和

(iv)从固化的树脂组合物去除所述图案化的支撑衬底，从而形成所述具有图案化特征的压印模板；和

(b)使用所述压印模板压印聚合物材料；和

(c)去除所述压印模板以形成所述纳米图案化的微透镜。

2.根据权利要求1所述的方法，其中压印所述聚合物材料包括在预定压力下以预定温度压缩所述压印模板以使用所述压印模板压印所述聚合物材料。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中形成图案化的支撑衬底包括使用利用氧的等离子体灰化方法以去除所述支撑衬底上的部分所述自组装单层。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，进一步包括将保形涂层沉积至所述图案化的支撑衬底上并且在施加所述液体树脂组合物之前施加疏水表面处理至所述图案化的支撑衬底。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述保形涂层包括Al₂O₃或TiO₂并且所述疏水表面处理包括烷基硅烷。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中在所述支撑衬底上制备所述自组装单层包括在水表面上形成所述自组装单层并且使用汲取技术将所述单层从所述水表面转移至所述支撑衬底。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述自组装单层包括具有20nm至1000nm范围内的直径的聚苯乙烯纳米球。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述自组装单层包括纳米球并且去除部分所述自组装单层进一步包括在所述单层中的所述纳米球之间限定多个间隙空间。

9.制造纳米图案化的微透镜的方法，所述方法包括：

(a)形成具有图案化特征的压印模板，其包括：

(i)在衬底上沉积二氧化硅膜；

(ii)在所述二氧化硅膜上制备自组装单层，其中所述单层包括多个纳米球；

(iii)去除所述自组装单层中的部分所述纳米球以形成缩减的衬底；

(iv)施加光刻掩模至所述缩减的衬底以形成图案化的衬底；

(v)施加液体树脂至所述图案化的衬底和固化所述树脂；

(vi)从固化的树脂去除所述图案化的衬底从而形成所述具有图案化特征的压印模板；和

(b)使用所述压印模板压印微透镜；和

(c)去除所述压印模板以形成所述纳米图案化的微透镜。

10.根据权利要求9所述的方法，其中施加所述光刻掩模包括：

(a)在所述缩减的衬底上沉积铬层；(b)去除所述纳米球以在所述缩减的衬底中形成纳米孔；(c)蚀刻其上不具有任何铬的部分所述二氧化硅层；和(d)去除所述铬层以形成所述图案化的衬底。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中压印所述微透镜包括将所述微透镜加热至大于所述微透镜的玻璃化转变温度的温度和在预定压力下压缩所述压印模板以使用所述压印模板压印所述微透镜。

12.根据权利要求9-11中任一项所述的方法，其中所述衬底是含硅衬底并且在所述衬底上沉积所述二氧化硅膜包括等离子体增强化学气相沉积。

13.根据权利要求9-12中任一项所述的方法，其中在所述支撑衬底上制备自组装单层包括在水表面上形成所述自组装单层和利用汲取技术将所述单层从所述水表面转移至所述支撑衬底。