[发明专利]由多相交变或脉冲电流驱动的等离子体装置及产生等离子体的方法

权利要求书

1.一种等离子体源，其包括：

至少三个空心阴极，所述至少三个空心阴极包括第一空心阴极、第二空心阴极和第三空心阴极，每个空心阴极具有等离子体出口区域；以及

电源，所述电源能够产生多个输出波，所述多个输出波包括第一输出波、第二输出波和第三输出波，其中所述第一输出波和所述第二输出波异相，所述第二输出波和所述第三输出波异相，并且所述第一输出波和所述第三输出波异相；

其中每个空心阴极电连接至所述电源，以使得所述第一空心阴极电连接至所述第一输出波，所述第二空心阴极电连接至所述第二输出波，并且所述第三空心阴极电连接至所述第三输出波；

其中电流在异电相位的所述至少三个空心阴极之间流动；并且

其中所述等离子体源能够在所述空心阴极之间生成等离子体。

2.根据权利要求1所述的等离子体源，

其中由所述等离子体源生成的所述等离子体在所述多个输出波的周期的至少基本80％上包括主动电子发射。

3.根据权利要求1所述的等离子体源，

其中由所述等离子体源生成的所述等离子体在所述多个输出波的周期的至少基本90％上包括主动电子发射。

4.根据权利要求1所述的等离子体源，

其中由所述等离子体源生成的所述等离子体在所述多个输出波的周期的至少基本100％上包括主动电子发射。

5.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极以不同于180°的相位角异电相位。

6.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极以120°的相位角异电相位。

7.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极中的每一相邻对空心阴极与所述至少三个空心阴极中的每一其它相邻对空心阴极以相同的相位角异电相位。

8.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极是线性空心阴极。

9.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极每个都包括细长的空腔。

10.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极中的每一个空心阴极的等离子体出口区域包括多个等离子体出口孔。

11.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极中的每一个空心阴极的等离子体出口区域包括等离子体出口狭槽。

12.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极各自电绝缘，以使得仅仅所述空心阴极的内表面和所述等离子体出口区域是电子发射的和电子接受的。

13.根据权利要求1所述的等离子体源，其中几乎所有生成的等离子体流动通过所述至少三个空心阴极中的每一个空心阴极的等离子体出口区域。

14.根据权利要求1所述的等离子体源，其中电流流动包括源自二次电子发射的电子。

15.根据权利要求1所述的等离子体源，其中电流流动包括源自热离子发射电子的电子。

16.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极是线性排布的。

17.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极被配置成将所述等离子体出口区域中的每一个指向公共线。

18.根据权利要求1所述的等离子体源，其中所述至少三个空心阴极中的每一对空心阴极之间的距离是相同的距离。