[发明专利]SELS纳米指状物侧壁涂层

说明书

表面增强发光(SELS)传感器可以包括基底和从该基底上凸起的多个纳米指状物。各纳米指状物可以包括具有侧壁和顶部的聚合物支柱、覆盖该侧壁的涂层和由该支柱顶部支承并与该支柱顶部接触的金属帽。

发明背景

表面增强发光(SEL)有时用于分析无机材料和复杂的有机分子的结构。SELS将电磁辐射或光聚焦到分析物或含有分析物的溶液上，其中检测光与分析物之间的相互作用用于分析。

附图概述

图1是示例性SELS传感器的一部分的截面图。

图2是形成SELS传感器的示例性方法的流程图。

图3是另一示例性SELS传感器的截面图。

图4A是图3的示例性传感器的一部分的侧视图。

图4B是图4A的示例性传感器的一部分的顶视图。

图5A是在示例性纳米指状物靠近后图3的示例性传感器的一部分的侧视图。

图5B是在示例性纳米指状物靠近后图5A的示例性传感器的一部分的顶视图。

图6是另一示例性SELS传感器的一部分的截面图。

图7是另一示例性SELS传感器的一部分的截面图。

图8是形成SELS传感器的示例性方法的流程图。

图9是用于图8的示例性方法的支承示例性支柱的示例性基底的截面图。

图10是依据图8的方法用涂层涂布后图9的基底与支柱的截面图。

图11是在除去该支柱顶部上的那些涂层部分之后，准备用于形成如图7中所示的金属帽的图10的基底与支柱的截面图。

图12是支承用于形成图9的示例性基底和示例性支柱的示例性聚合物材料团块的示例性基底的截面图。

图13是支承准备好用于由母版压印以形成图9的支柱的图12的示例性聚合物材料团块的示例性基底的截面图。

图14是在用母版压印过程中支承示例性聚合物材料团块的示例性基底的截面图。

实例详述

图1是示例性表面增强发光(SELS)传感器20的截面图，其可用于感测光与沉积在传感器20上的分析物之间的相互作用。在一个实施方案中，传感器20便于使用表面增强拉曼光谱(SERS)进行测试或识别。如下文中将要描述的那样，传感器20包括由聚合物支柱形成的纳米指状物形式，其中涂层覆盖该聚合物支柱的侧壁，并且其中各个支柱具有由各支柱顶部支承并与其接触的金属帽。该涂层减少了来自下方的聚合物支柱材料对金属与测试的分析物的污染。由于该涂层不包封该聚合物支柱的顶部，便于将金属帽固定到该聚合物支柱的顶部。在一些实施方案中，该涂层进一步用于调节或控制该聚合物支柱的刚度。

传感器20包括基底24和纳米指状物28。基底24包括用于支承纳米指状物28的基座或底座。在一个实施方案中，基底24包含硅、石英、玻璃或聚合物膜如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的层。在一些实施方案中，基底24可以附加地包含在硅基底与纳米指状物28之间的电介质材料的中间层。此类层间电介质可以由诸如SiO₂、TEOS、SiC钝化层、氮化硅等等的材料形成。在其它实施方案中，可以采用其它层间电介质材料。在再其它实施方案中，基底24可以由其它材料如石英、陶瓷、聚合物以及其它材料来形成。