[发明专利]气体管理系统和控制器

权利要求书

1.一种气体供应系统，包括：

气体面板，限定了包括气体分配歧管的外壳，其中，使用一个或多个螺线管来调节通过所述气体分配歧管的气流；

冗余控制系统，被电连接到所述一个或多个螺线管，其中，所述冗余控制系统被配置为向所述螺线管发送驱动信号，以便允许或阻止气体流过所述气体分配歧管；以及

通信模块，允许所述冗余控制系统监控多个气体面板，监控包括从气柜组件接收关于组件操作状态的反馈，并将来自冗余控制系统的驱动信号传输到所述气体面板。

2.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中，所述气体面板还包括一个或多个气体贮存和分配容器，所述一个或多个气体贮存和分配容器被安装在所述外壳中并且加入与所述气体分配歧管的气流流通。

3.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中，所述气体面板和冗余控制系统位于仅可由授权人员访问的安全房间中。

4.根据权利要求3所述的气体供应系统，其中，所述授权人员提供表明资格证明的认证信息，所述资格证明允许授权人员在气体面板的外壳内执行任务。

5.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中，所述冗余控制系统具有至少一个辅助镜像控制系统，所述至少一个辅助镜像控制系统被配置为根据需求承担气体面板的控制。

6.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中，所述气体面板包括阀门岐管箱VMB，所述阀门岐管箱控制通过气体分配歧管的压力和气流，从而确保到一个或多个所连接工具的压力和气流基本恒定。

7.根据权利要求6所述的气体供应系统，其中，所述阀门岐管箱包括或被连接到电子压力调节器，所述电子压力调节器控制到质量流量控制器MFC的入口的气体压力，所述质量流量控制器控制所述气体面板中的气流。

8.根据权利要求7所述的气体供应系统，其中，所述电子压力调节器包括至少一个圆顶加载的压力调节器或电动气动压力调节器，它们中的每一个均被配置成接收由所述冗余控制系统发出的控制信号。

9.根据权利要求8所述的气体供应系统，其中，将MFC处的压力反馈读数提供到所述圆顶加载的压力调节器或电动气动压力调节器，从而控制气体管线压力。

10.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中，所述通信模块提供到所述冗余控制系统的远程访问，以便允许通过便携式电子设备来访问所述冗余控制系统。

11.一种气体面板监控系统，包括：

一个或多个摄像机，基于至少一个气体面板来布置，所述气体面板位于受控访问区域内；

一个或多个摄像机，基于允许进入到所述受控访问区域的访问门来布置；

设备识别系统，被配置为确定是否将多个设备带入所述受控访问区域，如果确定将多个设备带入所述受控访问区域，则识别多个设备中的那些设备要被带入到所述受控访问区域中；以及

控制器，被配置成监控来自所述摄像机的视频馈送数据，以便在授权对所述受控访问区域中的气体面板进行访问之前验证与所识别的多个设备相关的安全协议步骤被遵循。

12.根据权利要求11所述的气体面板监控系统，还包括电子识别设备，所述电子识别设备被配置为基于提供到所述电子识别设备的电子标识符授权或阻止对所述受控区域进行访问。

13.根据权利要求11所述的气体面板监控系统，其中，所述控制器基于正在访问气体面板的一个或多个人员的身份而允许或阻止在气体面板上执行任务。

14.根据权利要求11所述的气体面板监控系统，还包括射频识别RFID装置，所述射频识别RFID装置被配置为读取位于气体面板设备上的的RFID标签。