[发明专利]超纯水制造装置以及超纯水制造装置的运转方法

权利要求书

1.一种超纯水制造装置，其具有一次纯水系统和子系统，该子系统包括对由该一次纯水系统获得的一次纯水进行处理的离子交换装置和超滤膜装置，其中，

在所述一次纯水系统的后段且所述子系统的前段，具备硼浓度测定单元和电去离子装置。

2.如权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于，

所述一次纯水系统具有反渗透膜装置和离子交换装置。

3.如权利要求1或2所述的超纯水制造装置，其特征在于，

所述电去离子装置包括：阴极和阳极、配置在该阴极和阳极之间的阳离子交换膜和阴离子交换膜、以及由这些阳离子交换膜和阴离子交换膜划分形成的脱盐室和浓缩室，

在所述脱盐室和所述浓缩室中填充有离子交换体，

还具备：使浓缩水通入所述浓缩室的浓缩水通入单元、以及使原水通入所述脱盐室并取出去离子水的单元。

4.如权利要求3所述的超纯水制造装置，其特征在于，

所述浓缩水通入单元将通入所述脱盐室后的去离子水作为浓缩水通入。

5.如权利要求4所述的超纯水制造装置，其特征在于，

所述浓缩水通入单元从接近所述脱盐室的去离子水取出口的一侧将所述浓缩水导入该浓缩室内，并使所述浓缩水从接近脱盐室的原水入口的一侧流出。

6.一种超纯水制造装置的运转方法，该超纯水制造装置包括一次纯水系统以及子系统，该子系统具有对由该一次纯水系统获得的一次纯水进行处理的离子交换装置和超滤膜装置，并在所述一次纯水系统的后段且所述子系统的前段，具备硼浓度测定单元和电去离子装置，

所述超纯水制造装置的运转方法的特征在于，

在被处理水连续通入一次纯水系统和子系统而制造超纯水的过程中，根据所述电去离子装置的硼离子去除率和由所述硼浓度测定单元测定的硼浓度，来判断是否更换所述子系统的离子交换装置。

7.如权利要求6所述的超纯水制造装置的运转方法，其特征在于，

所述一次纯水系统具有反渗透膜装置和离子交换装置。

8.如权利要求6或7所述的超纯水制造装置的运转方法，其特征在于，

所述电去离子装置包括：阴极和阳极、配置在该阴极和阳极之间的阳离子交换膜和阴离子交换膜、以及由这些阳离子交换膜和阴离子交换膜划分形成的脱盐室和浓缩室，

在所述脱盐室和所述浓缩室中填充有离子交换体，

还具有：使浓缩水通入所述浓缩室的浓缩水通入单元、以及使原水通入所述脱盐室并取出去离子水的单元。

9.如权利要求8所述的超纯水制造装置的运转方法，其特征在于，

所述浓缩水通入单元将一部分通入所述脱盐室后的处理水导入而作为所述浓缩水。

10.如权利要求9所述的超纯水制造装置的运转方法，其特征在于，

将所述浓缩水从所述浓缩室的接近所述脱盐室的去离子水取出口的一侧导入，并使所述浓缩水从所述浓缩室的接近所述脱盐室的原水入口的一侧流出。