[发明专利]用于以改进的均匀性和打印速度制造薄膜的技术有效
申请号: | 201680081246.3 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN108602346B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | C.F.马迪根;C.R.豪夫 | 申请(专利权)人: | 科迪华公司 |
主分类号: | B41J2/005 | 分类号: | B41J2/005;B41J2/01;B41J2/015;B41J2/04;B41J2/045 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张凌苗;闫小龙 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 改进 均匀 打印 速度 制造 薄膜 技术 | ||
1.一种使用具有能够以多个液滴大小产生离散液滴的打印头的打印机处理基板的方法,所述方法包括:
接收要在所述基板上形成的永久层的期望厚度;
接收表示要在所述基板上沉积并处理以形成永久层的液体的扩散特性的数据;
基于所述扩散特性,从所述多个液滴大小选择导致不大于所述期望厚度的处理之后的永久层的高度的最大液滴大小;
基于所选择的液滴大小,标识用来形成在单位面积内不具有空隙的液体层的液滴密度;
确定每单位面积的所述液体层的体积;
根据所述期望厚度来缩放所述体积;
根据经缩放的体积来缩放所述液滴密度;
向所述打印头的相应喷嘴分配喷嘴发射决定;
使用所选择的液滴大小和经缩放的液滴密度、根据所分配的喷嘴发射决定来打印连续液体层;以及
处理所述连续液体层以形成所述永久层。
2.根据权利要求1所述的方法,其中经缩放的体积比所述体积大至少阈值量。
3.根据权利要求1所述的方法,还包括,针对所述多个液滴大小中的每个,标识用来形成在单位面积内不具有空隙的液体层的液滴密度。
4.根据权利要求1所述的方法,其中所述多个液滴大小包括最小液滴大小,所述多个液滴大小中的每个液滴大小是所述最小液滴大小的倍数,并且根据所分配的喷嘴发射决定来打印连续液体层包括生成将液滴大小传达为所述最小液滴大小的函数的喷嘴控制信号。
5.根据权利要求1所述的方法,其中:
分配喷嘴发射决定包括调用软件例程以以向所述软件标识所选择的液滴大小的方式分配所述喷嘴发射决定。
6.根据权利要求5所述的方法,其中:
期望的膜厚度小于或等于4.0微米;并且
所选择的液滴大小具有小于或等于7.0皮升的预计体积。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述打印机要在打印网格的节点处打印所述液滴,所述打印网格的节点之间的交叉扫描间隔定义交叉扫描方向上的相邻液滴之间的最小间隔,并且所述打印网格的节点之间的扫描中间隔定义扫描中方向上的相邻液滴之间的最小间隔,并且其中:
缩放所述体积包括依靠所述期望厚度来选择性地改变所述交叉扫描间隔或所述扫描中间隔中的至少一个。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述打印机包括用于相对于所述扫描中方向选择性地旋转所述基板或所述打印头中的至少一个的机构,并且其中:
选择性地改变包括使所述机构相对于所述扫描中方向旋转所述基板或所述打印头中的所述至少一个,以改变所述交叉扫描方向上的所述打印网格的节点之间的间隔;并且
根据所分配的喷嘴发射决定来打印连续液体层包括根据改变的间隔向所述基板上进行打印。
9.根据权利要求7所述的方法,其中所述打印机包括用来生成定时信号以根据相应的喷嘴发射决定来触发所述喷嘴中的每个的发射的电路,并且其中选择性地改变包括控制所述电路改变所述定时信号的频率,以在给定扫描速度的情况下改变所述扫描中方向上的所述打印网格的节点之间的间隔。
10.根据权利要求1所述的方法,还包括使用所述打印机将测试图案打印到基板上,光学测量所打印的测试图案,以及基于所述光学测量来标识所述扩散特性。
11.根据权利要求1所述的方法,其中
分配所述喷嘴发射决定包括依靠所述期望厚度来选择性地改变所述液滴中的至少一些的大小。
12.根据权利要求11所述的方法,其中所述多个液滴大小包括至少四个预定液滴大小。
13.根据权利要求1所述的方法,其中处理所述连续液体层以形成所述永久层包括使用紫外光固化所述连续液体层或烘焙所述连续液体层中的至少一个。
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