[发明专利]反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法

权利要求书

1.一种反射镜驱动装置，其中，具备：

反射体，所述反射体能够对入射光进行反射；及

一对梁部，所述一对梁部在俯视观察下以夹着所述反射体的方式与所述反射体相连，

所述一对梁部包括：以夹着所述反射体的方式与所述反射体直接相连的一对第一梁；以及与所述一对第一梁的与所述反射体相反的一侧连结的一对第二梁，

在所述一对第一梁的主表面上隔着压电材料相互空出间隔地排列多个电极，

所述一对第一梁能够沿着与所述主表面交叉的方向相互向反方向位移，

所述反射体与所述一对第一梁直接相连的第一交界部能够在与所述主表面交叉的方向上位移，所述一对第一梁的宽度比所述反射体的宽度小，

所述一对第二梁能够在将所述一对第一梁与所述一对第二梁连结并沿着所述第二梁的主表面的方向上位移，

能够向多个所述电极中的接近所述反射体的一侧的第一电极和与所述第一电极相邻的第二电极施加符号互为相反的电压，

利用所述电压引起的所述压电材料的变形，所述反射体能够绕与连结所述反射体和所述一对第一梁的所述第一交界部而成的直线正交的轴倾斜，

向所述一对第一梁中的一方的所述第一梁的所述第一电极和所述一对第一梁中的与所述一方不同的另一方的所述第一梁的所述第一电极施加绝对值相同而符号互为相反的电压，

向所述一对第一梁中的所述一方的所述第一梁的所述第二电极和所述一对第一梁中的所述另一方的所述第一梁的所述第二电极施加绝对值相同而符号互为相反的电压，

所述反射镜驱动装置配置有包括所述一对第一梁和所述一对第二梁的多个列，

多个所述列包含的第一列与第二列在俯视观察下相互交叉地配置。

2.根据权利要求1所述的反射镜驱动装置，其中，

所述第一交界部能够追随所述一对第一梁的位移而进行位移。

3.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中，

为了使所述反射体倾斜，能够以使中心角θ1与中心角θ2之间

θ1＝α·θ2的关系成立的方式向所述压电材料施加电场，

其中，所述中心角θ1是向所述第一电极施加的电压产生的、由在俯视下与所述第一电极重叠的区域形成的圆弧的中心角，所述中心角θ2是向所述第二电极施加的电压产生的、由在俯视下与所述第二电极重叠的区域形成的圆弧的中心角，所述α的值被确定成使得下述两个坐标之间的误差的量最小，并且，使得下述两个倾斜角度之间的误差的量最小，所述两个坐标中的一个为在所述第一梁的与所述反射体的所述第一交界部的所述第一梁上所述多个电极和所述压电材料层叠的方向的坐标，所述两个坐标中的另一个为在所述反射体的所述第一交界部侧的端部的所述第一梁上所述多个电极和所述压电材料层叠的方向的坐标，所述两个倾斜角度中的一个是所述反射体的相对于连结所述反射体和所述第一梁部的方向的倾斜角度，所述两个倾斜角度中的另一个是所述第一梁的所述第一交界部的相对于所述连结方向的倾斜角度。