[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射预定光；

拍摄单元，所述拍摄单元具有设置为至少能够在上下方向上变位的拍摄元件和使被照射了所述预定光的所述被测量物上的预定区域的像成像在该拍摄元件的双侧远心光学系统；

移动单元，所述移动单元能够使所述照射单元和所述拍摄单元与所述被测量物相对移动；以及

图像处理单元，所述图像处理单元能够基于由所述拍摄单元拍摄到的图像对所述被测量物上的预定的测量对象执行三维测量，

所述三维测量装置还包括：

测量单元，在所述预定光之下进行与所述被测量物上的预定区域有关的拍摄的至少前一阶段，所述测量单元能够测量该预定区域的高度；以及

调整单元，所述调整单元在基于所述测量单元的测量结果进行与该预定区域有关的拍摄时，在不改变双侧远心光学系统的高度的情况下，能够通过仅使拍摄元件上下移动来调整所述拍摄元件的高度位置，使得该预定区域与所述拍摄元件之间的距离为预定距离。

2.如权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，

所述测量单元构成为在所述预定光之下进行与所述被测量物上的预定区域有关的拍摄的至少前一阶段，能够测量该预定区域的倾斜度，

所述调整单元构成为在基于所述测量单元的测量结果进行与该预定区域有关的拍摄时，能够调整所述拍摄元件的倾斜度，使得所述拍摄元件的倾斜度变为与该预定区域的倾斜度匹配的倾斜度。

3.如权利要求2所述的三维测量装置，其特征在于，包括：

校正单元，所述校正单元基于所述拍摄元件倾斜时的各像素在水平方向上的位置偏移量来校正由所述拍摄单元拍摄到的图像。

4.如权利要求1至3中任一项所述的三维测量装置，其特征在于，

通过所述移动单元使所述照射单元和所述拍摄单元与所述被测量物沿着预定方向相对往复移动，

在其去路中，执行与所述被测量物上的预定区域有关的所述测量单元的测量，

在其回路中，执行与该预定区域有关的所述调整单元的调整以及在所述预定光之下的拍摄。

5.如权利要求1至4中任一项所述的三维测量装置，其特征在于，

所述被测量物是印刷有膏状焊料的印刷基板或者是形成有焊料凸起的晶片基板。