[发明专利]降低二氧化硅颗粒的碳含量和石英玻璃体的制备

权利要求书

1.一种制备石英玻璃体的方法，其包含以下方法步骤：

i.)提供二氧化硅颗粒，其中所述提供包含以下步骤：

I.提供二氧化硅粉末；

II.加工所述二氧化硅粉末以获得二氧化硅颗粒，

其中所述二氧化硅颗粒的粒径大于所述二氧化硅粉末，

其中所述加工包含以下步骤：

1)加工所述二氧化硅粉末以获得包含至少两个粒子的二氧化硅颗粒I，

其中所述二氧化硅颗粒I具有第一碳含量w_C(1)，

2)用反应物处理所述二氧化硅颗粒I以获得具有另一碳含量w_C(2)的二氧化硅颗粒II，

其中所述另一碳含量w_C(2)小于所述第一碳含量w_C(1)，

在每种情况下都以涉及的所述二氧化硅颗粒的总重量计；

ii.)从所述二氧化硅颗粒II制造玻璃熔体；

iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述加工包含喷雾造粒。

3.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述反应物选自由HCl、Cl₂、F₂、O₂、O₃、H₂、C₂F₆、HClO₄或其中两种或多于两种的组合组成的群组。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述至少两个二氧化硅颗粒粒子相对于彼此移动。

5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中步骤II.2)的特征在于以下特征中的至少一种：

N1)所述反应物含有HCl、Cl₂或其组合；

N2)所述处理在旋转窑中进行；

N3)所述处理在600至900℃范围内的温度下进行；

N4)所述反应物形成逆向流；

N5)所述反应物具有50至2000L/h范围内的气体流；

N6)所述反应物具有0至小于50体积％的范围内的惰性气体体积组分。

6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述二氧化硅粉末具有以下特征中的至少一种：

a.BET表面积在20至60m²/g范围内；

b.容积密度在0.01至0.3g/cm³范围内；

c.碳含量小于50ppm；

d.氯含量小于200ppm；

e.铝含量小于200ppb；

f.不同于铝的金属的总含量小于1000ppb；

g.至少70重量％的所述粉末粒子具有10至100nm范围内的初始粒度；

h.夯实密度在0.001至0.3g/cm³范围内；

i.残余水分含量小于5重量％；

j.粒度分布D₁₀在1至7μm范围内；

k.粒度分布D₅₀在6至15μm范围内；

l.粒度分布D₉₀在10至40μm范围内；

其中重量％、ppm及ppb各自以所述二氧化硅粉末的总重量计。

7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其包含以下方法步骤：

iv.)从所述石英玻璃体制造具有至少一个开口的中空体。