[发明专利]由热解二氧化硅颗粒所得的均质石英玻璃

权利要求书

1.一种制备包含热解二氧化硅的石英玻璃体的方法，其包含以下方法步骤：

i.)提供二氧化硅颗粒，其包含以下方法步骤：

I.提供热解二氧化硅粉末；

II.加工所述二氧化硅粉末以获得二氧化硅颗粒，其中所述二氧化硅颗粒的粒径大于所述二氧化硅粉末；

ii.)在烘箱中从所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体；

iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体；

其中所述石英玻璃体具有以下性质：

A]OH含量小于10ppm；

B]氯含量小于60ppm；

C]铝含量小于200ppb；和

其中ppb和ppm各自以所述石英玻璃体的总重量计。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述热解二氧化硅粉末以非晶态二氧化硅粒子的形式存在，其中所述二氧化硅粉末具有以下性质：

a.氯含量小于200ppm；

b.铝含量小于200ppb；和

其中所述二氧化硅颗粒用反应物处理。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中通过模具熔融方法升温所述二氧化硅颗粒以获得玻璃熔体。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中在所述升温期间，针对时段t_T，维持低于二氧化硅熔点的温度T_T。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于以下特征中的至少一种：

a.)所述温度T_T是在1000至1700℃范围内；

b.)所述时段t_T是在1至6小时范围内。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中所述时段t_T是在制造所述玻璃熔体之前。

7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中使步骤iii)中获得的所述石英玻璃体以至多5K/min的速率至少冷却至1000℃的温度。

8.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述冷却以不超过1K/min的速率在1300至1000℃的温度范围内进行。

9.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中所述石英玻璃体的特征在于以下特征中的至少一种：

D]假定温度在1055至1200℃范围内；

E]ODC含量小于5×10¹⁵/cm³；

F]不同于铝的金属的金属含量小于300ppb；

G]log₁₀(η(1200℃)/dPas)＝13.4至log₁₀(η(1200℃)/dPas)＝13.9或log₁₀(η(1300℃)/dPas)＝11.5至log₁₀(η(1300℃)/dPas)＝12.1或log₁₀(η(1350℃)/dPas)＝1.2至log₁₀(η(1350℃)/dPas)＝10.8范围内的粘度(p＝1013hPa)；

H]以所述石英玻璃体的OH含量A]计，OH含量标准差不超过10％；

I]以所述石英玻璃体的Cl含量B]计，Cl含量标准差不超过10％；

J]以所述石英玻璃体的Al含量C]计，Al含量标准差不超过10％；

K]折射率均质性小于1×10^-4；

L]转变点Tg在1150至1250℃范围内；

其中ppb和ppm各自以所述石英玻璃体的总重量计。