[发明专利]多孔化学机械抛光垫

权利要求书

1.一种形成多孔抛光垫的方法，所述方法包括以下步骤：

利用打印机沉积多个复合物层以达到目标厚度，其中沉积所述多个复合物层的步骤包括以下步骤：

将一或更多滴可固化树脂前驱物组成物分配到支撑件上；

将一或更多滴孔隙形成组成物分配在所述支撑件上，其中所述孔隙形成组成物的至少一种组分是可移除的以在所述多孔抛光垫中形成孔；以及

将分配的一或更多滴所述可固化树脂前驱物组成物和分配的一或更多滴所述孔隙形成组成物暴露于退火工艺、清洗工艺或这两者中的至少一者，以移除所述孔隙形成组成物中的所述至少一种组分，以在所述多孔抛光垫中形成所述孔。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括孔隙形成剂，所述孔隙形成剂选自以下各者的群组：水、水溶性惰性材料、含水的亲水聚合物、亲水可聚合单体及上述各者的组合。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括孔隙形成剂，所述孔隙形成剂选自以下各者的群组：二醇、二醇醚、胺类及上述各者的组合。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括孔隙形成剂，所述孔隙形成剂选自以下各者的群组：乙二醇、丁二醇、二聚二醇、丙二醇-(1,2)、丙二醇-(1,3)、辛烷-1,8-二醇、新戊二醇、环己烷二甲醇(1,4-双-羟甲基环己烷)、2-甲基-1,3-丙二醇、甘油、三羟甲基丙烷、己二醇-(1,6)、己三醇-(1,2,6)、丁三醇-(1,2,4)、三羟甲基乙烷、季戊四醇、1,4-环己二醇、甘露醇、山梨糖醇、甲基糖苷、二甘醇、三甘醇、四甘醇、聚乙二醇、二丁二醇、聚丁二醇、乙二醇单丁醚(EGMBE)、二甘醇单乙醚、乙醇胺、二乙醇胺(DEA)、三乙醇胺(TEA)及上述各者的组合。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括二甘醇。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括含水的亲水聚合物，所述含水的亲水聚合物选自以下各者的群组：聚乙烯醇、聚乙烯吡咯啶酮(PVP)、聚乙烯甲基醚及上述各者的组合。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物包括孔隙形成剂，所述孔隙形成剂选自以下各者的群组：三乙醇胺(TEA)表面活性剂、聚氧乙烯烷基苯基醚硫酸铵、聚氧乙烯烷基苯基醚、阴离子磷酸酯及上述各者的组合。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述孔隙形成组成物中的所述至少一种组分是可蒸发的、可溶于水或可溶于另一溶剂。

9.如权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：在将分配的一或更多滴可固化树脂前驱物组成物及分配的一或更多滴孔隙形成组成物暴露于所述退火工艺、所述清洗工艺或这两者中的至少一者之前，部分地固化分配的一或更多滴可固化树脂前驱物组成物及分配的一或更多滴孔隙形成组成物。

10.一种形成多孔抛光垫的方法，所述方法包括以下步骤：

利用打印机沉积多个复合物层以达到目标厚度，其中沉积所述多个复合物层的步骤包括以下步骤：

将一或更多滴可固化树脂前驱物组成物分配到支撑件上，其中所述可固化树脂前驱物组成物包括：

第一树脂前驱物组分，包括多官能丙烯酸酯低聚物；

第二树脂前驱物组分，包括多官能丙烯酸酯单体；

表面活化剂；和

孔隙形成剂；

将所述一或更多滴可固化树脂前驱物组成物暴露于电磁辐射以至少部分地固化所述可固化树脂前驱物组成物；以及

重复所述分配和暴露的步骤，以在所述支撑件上构建三维浮雕；以及

凝固所述多个复合物层，其中凝固所述多个复合物层的步骤包括将所述三维浮雕加热至低于由所述可固化树脂前驱物组成物形成的聚合物的软化温度，以移除所述孔隙形成剂。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述可固化树脂前驱物组成物进一步包括固化剂，所述固化剂包括光引发剂。