[发明专利]具有多电极的电容式真空测量元件

权利要求书

1.一种电容式真空测量元件，该电容式真空测量元件具有带有膜片(2)的第一壳体(1)，所述膜片(2)被布置成与所述第一壳体(1)间隔开一定距离，以便在边缘区域(3)中形成密封，使得在所述第一壳体(1)与所述膜片(2)之间形成基准真空空间(9)，其中，所述第一壳体的和所述膜片(2)的相对表面(7、8)包括至少一个电极(G、G₁、G₂、...G_n、M₁、M₂、...M_n)，其中，设置了第二壳体(4)，以便在所述边缘区域中相对于所述膜片(2)形成密封，并且与所述膜片形成测量真空空间(10)，在该测量真空空间(10)中设有用于连接至处理空间的连接装置(5)，其特征在于，壳体表面(7)和/或膜片表面(8)上的所述电极(G、G₁、G₂、...G_n；M1、M₂、...M_n)包括至少两个相互电绝缘的壳体电极(G₁、G₂、...G_n)或/和膜片电极(M₁、M₂、...M_n)，它们被布置成使得它们与至少一个相对电极(G、G₁、G₂、...G_n；M₁、M₂、...M_n)形成至少两个测量电容(C₁、C₂、...C_n)，使得能够在多个位置处以电容的方式检测所述膜片的弯曲，其中，所述壳体电极(G)或所述壳体电极(G₁、G₂、...G_n)和所述膜片电极(M)或所述膜片电极(M₁、M₂、...M_n)在工作中连接到信号处理单元。

2.根据权利要求1所述的测量元件，其特征在于，所述电极(G、G₁、G₂、...G_n；M₁、M₂、...M_n)包括至少三个或更多个电绝缘的壳体电极(G₁、G₂、...、G_n)或/和相互电绝缘的膜片电极(M₁、M₂、...M_n)，并且形成至少三个或更多个测量电容(C₁、C₂、...C_n)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的测量元件，其特征在于，在所述壳体表面(7)和/或所述膜片表面(8)的中央形成的第一电极(G₁、M₁)被相对于所述第一电极(G₁、M₁)对称布置的至少四个另外的电极(G₂、G₃、...G_n；M₂、M₃、...M_n)包围。

4.根据前述权利要求中任一项所述的测量元件，其特征在于，至少四个膜片电极(M₁、M₂、...M_n)和/或至少四个壳体电极(G₁、G₂、...G_n)对称地布置在至少四个不同的圆形部分中。