[发明专利]激光装置

权利要求书

1.一种激光装置，其具有：

腔室，其在内部配置有一对放电电极，

第一扩束器，其被配置成使从所述腔室输出的光束的光束宽度至少在第一方向上扩展，所述第一方向与所述一对放电电极之间的放电方向大致平行；以及

窄带化光学系统，

其中，所述窄带化光学系统具有：

第二扩束器，其包含至少一个光学元件，该第二扩束器被配置成使从所述腔室输出的光束的光束宽度至少在第二方向上扩展，所述第二方向与所述第一方向大致垂直；以及

光栅，其被配置成使被所述第一扩束器和所述第二扩束器扩展了光束宽度后的光束在与所述第二方向大致平行的面内发生波长色散，

所述光栅被配置成，对所述第一扩束器导致的波长色散进行补偿，与所述光栅的色散面垂直的第三方向与如下的面交叉，该面平行于所述第一方向和入射到所述光栅的光束在所述光栅上的入射位置处的光束轴方向这双方。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述第一扩束器包含第一棱镜和第二棱镜，该第一棱镜和第二棱镜被配置成使位于比所述第一扩束器靠所述腔室侧的位置的第一光束与位于比所述第一扩束器靠所述光栅侧的位置的第二光束大致平行。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述光栅被配置成，分别以与该光栅的衍射面大致垂直的第一轴和与所述第一轴大致垂直且与该光栅的色散面大致平行的第二轴为中心倾斜。

4.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

所述光栅的以所述第一轴为中心的倾斜角度的绝对值为0.084度以上且0.29度以下，所述光栅的以所述第二轴为中心的倾斜角度的绝对值为0.12度以上且0.64度以下。

5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述窄带化光学系统还具有：

第一角度变更机构，其绕与所述光栅的衍射面大致垂直的第一轴变更所述光栅的倾斜角度；和

第二角度变更机构，其绕与所述第一轴大致垂直且与所述光栅的色散面大致平行的第二轴变更所述光栅的倾斜角度。

6.一种激光装置，其具有：

腔室，其在内部配置有一对放电电极；

光栅，其被配置成使从所述腔室输出的光束发生波长色散；

第一扩束器，其被配置在所述腔室与所述光栅之间的光束路径上，并被配置成使入射到所述光栅的入射位置处的光束宽度至少在第一方向上扩展，所述第一方向与所述光栅的色散面大致垂直；以及

第二扩束器，其被配置在所述腔室与所述光栅之间的光束路径上，该第二扩束器包含至少一个光学元件，该第二扩束器被配置成使入射到所述光栅的入射位置处的光束宽度至少在第二方向上扩展，所述第二方向与所述光栅的色散面大致平行，

所述光栅被配置成，对所述第一扩束器导致的波长色散进行补偿，与所述光栅的色散面垂直的第三方向与如下的面交叉，该面平行于所述第一方向和入射到所述光栅的光束在所述光栅上的入射位置处的光束轴方向这双方。

7.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

所述第一扩束器包含第一棱镜和第二棱镜，该第一棱镜和第二棱镜被配置成，使位于比所述第一扩束器靠所述腔室侧的位置的第一光束与位于比所述第一扩束器靠所述光栅侧的位置的第二光束大致平行。

8.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

所述光栅被配置成，分别以与该光栅的衍射面大致垂直的第一轴和与所述第一轴大致垂直且与该光栅的色散面大致平行的第二轴为中心倾斜。

9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，

所述光栅的以所述第一轴为中心的倾斜角度的绝对值为0.084度以上且0.29度以下，所述光栅的以所述第二轴为中心的倾斜角度的绝对值为0.12度以上且0.64度以下。

10.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

该激光装置还具有：

第一角度变更机构，其绕与所述光栅的衍射面大致垂直的第一轴变更所述光栅的倾斜角度；和

第二角度变更机构，其绕与所述第一轴大致垂直且与所述光栅的色散面大致平行的第二轴变更所述光栅的倾斜角度。