[发明专利]磁传感器在审
申请号: | 201680083608.2 | 申请日: | 2016-10-20 |
公开(公告)号: | CN108780128A | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 田边圭 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;H01L43/08 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;陈明霞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 主体部 磁检测元件 磁传感器 环境磁场 脚部 磁性体 磁场聚集 覆盖 减小 绕开 噪声 检测 | ||
本发明提供一种不易受环境磁场影响的磁传感器。本发明的磁传感器具备:位于第1平面(P1)的磁检测元件(MR1~MR4)、以及设置在第2平面(P2)的磁性体(30A)。磁性体(30A)包括:第1、第2脚部(41、42)、以及位于第1、第2脚部(41、42)之间且在与第2平面(P2)之间形成第1空间(61)的第1主体部(51)。磁检测元件(MR1~MR4)被第1主体部(51)覆盖。根据本发明,待检测的磁场聚集在第1及第2脚部(41、42)中,而磁检测元件(MR1~MR4)被第1主体部(51)覆盖,因此,能够经由第1主体部(51)能够使成为噪声的环境磁场绕开,由此能够减小环境磁场的影响。
技术领域
本发明涉及磁传感器,具体而言,涉及具备将磁通集中于磁检测元件的磁性体的磁传感器。
背景技术
使用磁电阻元件的磁传感器被广泛用于电流表、磁编码器等。在磁传感器中,有时会设置用于将磁通集中于磁检测元件的磁性体,在这种情况下,磁性体相对于磁检测元件偏移而配置(参照专利文献1和2)。由此,由于磁性体的作用,磁通的方向朝磁化固定方向弯曲,从而能够进行高灵敏度的检测。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特许第5500785号公报
专利文献2:日本特开2014-182096号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,在专利文献1和2中记载的磁传感器中,由于大多数磁检测元件从磁性体露出,因此存在容易受到成为噪声的环境磁场的影响的问题。
因此,本发明的目的在于提供一种不易受环境磁场影响的磁传感器。
解决技术问题的手段
本发明所涉及的磁传感器具备:位于第1平面且至少包含第1磁检测元件的多个磁检测元件、以及设置在平行于第1平面的第2平面上的磁性体;其中,所述磁性体包括:在与所述第2平面之间形成第1空间的第1主体部、以及固定在所述第2平面上的第1脚部,所述第1磁检测元件被所述第1主体部覆盖。
根据本发明,由于待检测的磁场集中于第1脚部,另一方面第1磁检测元件被第1主体部覆盖,因此能够经由第1主体部使成为噪声的环境磁场绕开。由此能够减小环境磁场的影响。在此,磁性体优选由软磁性材料制成。
在本发明中,优选的是,所述多个磁检测元件进一步包括被所述第1主体部覆盖的第2磁检测元件,所述磁性体进一步包括相对于所述第1主体部突出、且固定在所述第2平面的第2脚部,所述第1主体部位于所述第1脚部和所述第2脚部之间,所述第1磁检测元件偏向所述第1脚部侧配置,所述第2磁检测元件偏向所述第2脚部侧配置。由此,由于第1脚部和第2脚部收集的磁场分别被提供给第1磁检测元件和第2磁检测元件,因此可以获得差分信号。而且,在平面视图中,由于第1磁检测元件和第2磁检测元件被夹在第1脚部和第2脚部之间并被第1主体部覆盖,因此可以有效阻止环境磁场向第1空间的侵入。由此能够进一步降低环境磁场的影响。
在这种情况下,所述第1空间在与所述第1平面和所述第2平面交叉且横穿所述第1脚部和所述第2脚部的方向上的截面形状可以是多边形的,所述第1主体部在与所述第1平面和所述第2平面交叉且横穿所述第1脚部和所述第2脚部的方向上的底面可以具有曲线部分。
在本发明中,优选的是,所述多个磁检测元件进一步包括第2磁检测元件,所述磁性体进一步包括在与所述第2平面之间形成第2空间的第2主体部,所述第1脚部位于所述第1主体部和所述第2主体部之间,所述第2磁检测元件被所述第2主体部覆盖。这种情况下,也可以通过第1磁检测元件和第2磁检测元件获得差分信号。
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