[发明专利]磁传感器

说明书

将适于闭环控制的磁传感器小型化及低成本化。具备：电连接于端子(41、42)间且沿x方向延伸的磁阻效应元件MR1和电连接于端子(43、44)间且沿着磁阻效应元件MR1在x方向上延伸的磁性体(31)。磁阻效应元件MR1相对于y方向上的磁性体(31)的中心位置偏移地配置。根据本发明，通过磁性体(31)汇集应检测的磁通，并且根据磁阻效应元件MR1的电阻值而在磁性体(31)中流动电流，由此能够实现闭环控制。即，磁性体(31)兼具集磁功能和消除线圈的功能，因此，能够削减必要的电路元件的数量，能够实现小型化及低成本化。

技术领域

本发明涉及磁传感器，特别是涉及适于闭环控制的磁传感器。

背景技术

检测由人体等发出的微弱的磁场的磁传感器强烈受到地磁等环境磁场的影响。因此，在这种装置中，需要消除环境磁场的影响。

专利文献1中记载的磁传感器具有在传感器芯片的表面按顺序层叠有消除线圈、磁阻效应元件及磁性体的结构，将由应检测的磁场产生的磁通引导到磁阻效应元件，并且根据磁阻效应元件的电阻值的变化在消除线圈中流动电流，由此，实现闭环控制。

[现有技术文献]

专利文献

专利文献1：日本特开2015－219061号公报

发明内容

[发明要解决的技术问题]

专利文献1中记载的磁传感器中，将消除线圈、磁阻效应元件及磁性体集成在一个传感器芯片上，因此，具有整体的尺寸非常小的优异的特征。但是，近年来，对于磁传感器提出了更进一步的小型化及低成本化的要求。

因此，本发明的目的在于，实现适于闭环控制的磁传感器的更进一步的小型化及低成本化。

[用于解决问题的技术方案]

本发明提供一种磁传感器，其特征在于，具备：第一～第四端子；第一磁阻效应元件，其电连接于所述第一及第二端子间，沿第一方向延伸；以及第一磁性体，其电连接于所述第三及第四端子间，沿着所述第一磁阻效应元件在所述第一方向上延伸，所述第一磁阻效应元件相对于与所述第一方向交叉的第二方向上的所述第一磁性体的中心位置偏移地配置。

根据本发明，由第一磁性体汇集应检测的磁通，并且根据第一磁阻效应元件的电阻值在第一磁性体中流动电流，由此，能够实现闭环控制。即，第一磁性体兼具集磁功能和消除线圈的功能，因此，能够削减必要的电路元件的数量，能够实现小型化及低成本化。为了实际上进行闭环控制，只要附加反馈电路即可，该反馈电路基于第一或第二端子上出现的电位在第三端子和第四端子之间流动反馈电流。在此，优选由软磁性材料构成第一磁性体。

在本发明中，优选：从与所述第一及第二方向交叉的第三方向观察时，所述第一磁阻效应元件配置于不与所述第一磁性体重叠的位置。据此，通过第一磁性体将向第二方向弯曲的大部分磁通成分赋予给第一磁阻效应元件，所以能够获得比第一磁阻效应元件的固定磁化方向为第二方向的情况更高的检测灵敏度。

在本发明中，优选：所述第一磁性体的所述第一方向上的长度等于或大于所述第一磁阻效应元件的所述第一方向上的长度。据此，在比第一磁阻效应元件更长的区域获得第二方向的磁场，所以能够获得比第一磁阻效应元件的固定磁化方向为第二方向的情况更高的检测灵敏度。

本发明的磁传感器优选，还具备：第五端子；第二磁阻效应元件，其电连接于所述第二及第五端子间，沿规定的方向延伸；以及第二磁性体，其电连接于所述第三及第四端子间，沿着所述第二磁阻效应元件在所述规定的方向上延伸，所述第二磁阻效应元件相对于与所述规定的方向交叉的方向上的所述第二磁性体的中心位置偏移地配置。据此，能够利用两个磁阻效应元件获得差分信号，所以能够进一步提高检测灵敏度。