[发明专利]波长检测装置

说明书

一种波长检测装置，其使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，波长检测装置包括：第1壳体，其对容纳标准具的内部空间进行封闭；输入窗口，其安装在形成于第1壳体的第1开口，将紫外线激光导入第1壳体内；第1密封部件，其对输入窗口的端缘部与第1开口的内周部之间的间隙进行密封；遮光膜，其配置在输入窗口的端缘部与密封部件之间，对从输入窗口朝向第1密封部件的紫外线激光进行遮挡；和扩散元件，其配置在第1壳体的外侧，在输入窗口的前级使紫外线激光扩散。

技术领域

本公开涉及检测紫外线激光的中心波长的波长检测装置。

背景技术

随着半导体集成电路的微型化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨力。将半导体曝光装置简单地称为“曝光装置”。因此，推进了从曝光用光源输出的光的短波长化。在曝光用光源中，代替以往的汞灯而使用气体激光装置。目前，作为曝光用的气体激光装置，使用输出中心波长为248.4nm的紫外线激光的KrF准分子激光装置及输出波长为193.4nm的紫外线激光的ArF准分子激光装置。

作为目前的曝光技术，由液体而将曝光装置侧的投影透镜与晶片之间的间隙填满，并改变该间隙的折射率，从而使曝光用光源的表观上的波长变短的浸液曝光被实用化。在将ArF准分子激光装置用作曝光用光源而进行浸液曝光的情况下，向晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称为ArF浸液曝光。ArF浸液曝光还被称为ArF浸液光刻。

KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的谱带线宽度大约宽为350～400pm，因此发生通过曝光装置侧的投影透镜而缩小投影到晶片上的紫外线激光的色差，从而导致分辨力下降。因此，需要使从气体激光装置输出的紫外线激光的谱带线宽度变窄，直到可忽略色差的程度为止。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置有具备窄带化元件的窄带化模块(Line Narrowing Module：线压窄模块)。通过该窄带化模块而实现谱带线宽度的窄带化。窄带化元件可以是标准具、光栅等。这样的将谱带线宽度窄带化的激光装置称为窄带化激光装置。

公知有在这样的激光装置中使用并检测由激光谐振器输出的紫外线激光的中心波长的波长检测装置。波长检测装置将由激光谐振器输出的紫外线激光的一部分作为样品光而进行采集，由激光谐振器监视是否输出作为目标的中心波长的紫外线激光。波长控制部根据由波长检测装置检测的中心波长而对激光谐振器进行控制，以紫外线激光的中心波长成为目标的中心波长。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-214958号公报

专利文献2：日本实开平1-29160号公报

专利文献3：日本特开平1-183871号公报

发明内容

本公开的一个观点的波长检测装置使用至少一个标准具而检测从激光谐振器输出的紫外线激光的波长，该波长检测装置包括第1壳体、输入窗口、第1密封部件、遮光膜、扩散元件。第1壳体是将容纳标准具的内部空间封闭的壳体。输入窗口安装在形成于所述第1壳体的第1开口处，将所述紫外线激光导入所述第1壳体内。第1密封部件对所述输入窗口的端缘部与所述第1开口的内周部之间的间隙进行密封。遮光膜配置在所述输入窗口的端缘部与所述密封部件之间，遮挡从所述输入窗口朝向所述密封部件的所述紫外线激光。扩散元件配置在所述第1壳体的外侧，在所述输入窗口的前级中使所述紫外线激光扩散。

附图说明

下面，参照附图，将本公开的几个实施方式作为简单例子而进行说明。

图1概略性地表示使用比较例的波长检测装置的窄带激光装置的结构。

图2是对比较例的课题进行说明的说明图。

图3概略性地表示使用第1实施方式的波长检测装置的窄带激光装置的结构。