[发明专利]用于运输沉积源的设备和方法

权利要求书

1.一种用于非接触式地运输沉积源(120)的设备(100)，包括：

沉积源组件(110)，包括：

所述沉积源；及

第一主动磁性单元(150)；以及

具有磁性的引导结构(170)，所述引导结构(170)在源运输方向上延伸，其中所述沉积源组件沿所述引导结构是可移动的；

其中，所述第一主动磁性单元和所述引导结构经构造以用于提供第一磁浮力(F1)以悬浮所述沉积源组件，其中所述设备更包括控制器(580)，所述控制器(580)经构造以用于控制所述第一主动磁性单元以在垂直方向(Y)上对准所述沉积源。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述沉积源为蒸发源或溅射源。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一主动磁性单元是从由以下项所组成的群组中选择的：电磁装置、螺线管、线圈、超导磁体及上述项的任意组合。

4.根据权利要求1-3任一项所述的设备，其中所述引导结构由磁性材料制成。

5.根据权利要求1-3任一项所述的设备，其中所述引导结构由铁磁材料制成。

6.根据权利要求1-3任一项所述的设备，更包括磁驱动系统，所述磁驱动系统经构造以用于沿所述引导结构在所述源运输方向上非接触式地运输所述沉积源组件。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述磁驱动系统包括被动磁性单元和主动磁性单元，所述被动磁性单元位于所述引导结构处，所述主动磁性单元位于所述沉积源组件处或位于所述沉积源组件内。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述控制器连接至所述驱动系统，以控制所述沉积源组件的速度。

9.根据权利要求7或8所述的设备，其中所述被动磁性单元包括多个永久磁体，所述多个永久磁体具有不同的极取向。

10.根据权利要求1-3任一项所述的设备，其中所述设备更包括：

第一被动磁性单元(760)，经构造以用于提供第一横向力(T1)；以及

额外的主动磁性单元(750)，经构造以用于提供第一反向横向力(O1)，其中所述第一反向横向力是抵消所述第一横向力的可调整的作用力；

其中所述控制器(580)进一步经构造以用于控制所述额外的主动磁性单元以横向对准所述沉积源。

11.一种用于非接触式地悬浮沉积源(120)的设备，包括：

沉积源组件(110)，所述沉积源组件(110)具有第一旋转轴(520)，其中所述沉积源组件包括：

沉积源；

第一主动磁性单元(150)，设置于所述沉积源组件的第一侧；及

第二主动磁性单元(554)，设置于所述沉积源组件的第二侧；

引导结构(170)，所述引导结构(170)包含被动磁性单元；以及

控制器，所述控制器经构造以用于控制所述第一主动磁性单元和所述第二主动磁性单元，

其中，所述第一主动磁性单元和所述第二主动磁性单元经构造以用于磁性地悬浮所述沉积源组件，且经构造以用于使所述沉积源组件绕着所述第一旋转轴旋转以对准所述沉积源。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述沉积源组件更包括经构造以用于磁性地悬浮所述沉积源组件的第三主动磁性单元(930)与第四主动磁性单元(940)，其中：

所述第三主动磁性单元设置于所述沉积源组件的所述第一侧；

所述第四主动磁性单元设置于所述沉积源组件的所述第二侧；并且

所述第一主动磁性单元、所述第二主动磁性单元、所述第三主动磁性单元以及所述第四主动磁性单元经构造以用于使所述沉积源组件绕着所述第一旋转轴和所述沉积源组件的第二旋转轴(912)旋转以对准所述沉积源。