[发明专利]在基板上沉积功能材料的方法

权利要求书

1.一种在基板上沉积功能材料的方法，所述方法包括：

提供具有第一表面和第二表面的板，所述第二表面是弯曲的，并且具有在所述第二表面内的第一个孔和第二个孔；

在所述板的第二表面和在所述第二表面内的第一个孔和第二个孔上施用吸光材料的薄层，以使所述吸光材料层与由仅仅所述板形成的所述第一个和第二个孔的整个表面完全接触；

在施用所述吸光材料层之后，用功能材料填充在所述板的第二表面内的第一个孔和第二个孔；和

用来自非准直光源的脉冲光辐照所述板以加热所述吸光材料，从而当在吸光材料层和功能材料之间的界面处达到功能材料中的一种或多种组分的沸腾或升华相变温度时，在所述吸光材料和所述功能材料之间的界面处产生气体以将所述功能材料从所述第一个孔和第二个孔释放到接收基板上，

其中所述非准直光源是闪光灯或与波导管联用的激光，并且所述吸光材料是钨。

2.权利要求1的方法，其中所述板是光学透明的。

3.权利要求1的方法，其中所述板由石英制成。

4.权利要求1的方法，其中所述脉冲光的强度大于10KW/cm²。

5.权利要求1的方法，其中所述脉冲光的脉冲宽度小于0.2ms。

6.权利要求1的方法，其中所述方法还包括在施用所述吸光材料层之前，在所述板的第二表面上施用反射层。

7.权利要求6的方法，其中所述方法还包括在施用所述吸光材料层之前，从所述板的第二表面选择性地除去所述反射层。

8.权利要求1的方法，其中所述施用操作还包括在施用所述吸光材料之后和在施用所述功能材料之前，在所述板的第二表面上施用薄的释放层。

9.权利要求8的方法，其中所述释放层是多孔的并含有低沸点溶剂。

10.权利要求8的方法，其中所述释放层具有较低的相变温度。

11.权利要求8的方法，其中所述释放层具有较低的表面张力。

12.权利要求1的方法，其中所述施用操作还包括在施用所述吸光材料之前，在所述板的第二表面上施用薄的热缓冲层。

13.权利要求12的方法，其中所述热缓冲层是由聚酰亚胺制成的。

14.权利要求1的方法，其中所述接收基板是弯曲的。