[发明专利]内窥镜用光学单元的制造方法,内窥镜用光学单元和内窥镜有效
申请号: | 201680086041.4 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN109310268B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 吉田和洋;五十岚考俊;前江田和也 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | A61B1/00 | 分类号: | A61B1/00;A61B1/04;A61B1/05;G02B7/02;G02B23/26;G02B23/24;H01L27/14;H04N5/225 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;牛孝灵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内窥镜 用光 单元 制造 方法 | ||
1.一种内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于,包括:
将分别包括多个光学元件的多个光学元件晶圆层叠来制备接合晶圆的工序,其中,所述接合晶圆构成为能够使从光入射面入射的光成像;
沿用于进行切单的切割线在所述接合晶圆上形成槽的槽形成工序,其中,以所述槽的底面位于所述接合晶圆的最下部的光学元件晶圆内的方式形成所述槽,所述最下部的光学元件晶圆以平行平板玻璃为基体且具有作为所述光入射面的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面;和
以比所述槽的宽度窄的切割余量沿所述切割线切割所述接合晶圆来进行切单的切割工序,其中,所述切割余量是因切割而损失的部分,
所述制造方法还包括在所述槽中设置加强部件的工序。
2.如权利要求1所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
设置所述加强部件的工序是在所述切割工序之前进行的、在所述接合晶圆的所述槽中设置所述加强部件的工序。
3.如权利要求2所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
所述加强部件由遮光材料构成。
4.如权利要求3所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
所述加强部件由填充在所述槽中的树脂材料构成。
5.如权利要求2或3所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
所述加强部件是涂覆在所述槽的内表面的无机材料膜或镀膜。
6.如权利要求1~4中任一项所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
在所述接合晶圆的最上部,层叠包括多个摄像元件的摄像元件晶圆。
7.如权利要求5所述的内窥镜用光学单元的制造方法,其特征在于:
在所述接合晶圆的最上部,层叠包括多个摄像元件的摄像元件晶圆。
8.一种内窥镜用光学单元,其特征在于:
层叠有包括第一光学元件的多个光学元件,其中,所述第一光学元件以平行平板玻璃为基体且具有作为光入射面的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面,所述多个光学元件构成为能够使从所述光入射面入射的光成像,
所述内窥镜用光学单元在侧面设置有缺口,由于所述缺口的存在,所述第一主面大于其他多个光学元件中的任一者的主面,所述缺口形成至所述第一光学元件的侧面的途中,
在所述缺口的内部容纳有加强部件。
9.如权利要求8所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
所述第一主面比所述第二主面大。
10.如权利要求8所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
所述加强部件由遮光材料构成。
11.如权利要求9或10所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
所述加强部件由树脂材料构成。
12.如权利要求9或10所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
所述加强部件由无机材料膜或镀膜构成。
13.如权利要求8~10中任一项所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
还层叠有摄像元件,所述摄像元件在其受光面形成有接收由所述多个光学元件成像得到的光的受光部。
14.如权利要求11所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
还层叠有摄像元件,所述摄像元件在其受光面形成有接收由所述多个光学元件成像得到的光的受光部。
15.如权利要求12所述的内窥镜用光学单元,其特征在于:
还层叠有摄像元件,所述摄像元件在其受光面形成有接收由所述多个光学元件成像得到的光的受光部。
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