[发明专利]制造多层膜结构的方法和多层膜结构在审
申请号: | 201680087022.3 | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN109311277A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·P·福斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B32B17/00 | 分类号: | B32B17/00;E06B9/00;G02B5/28;C23C14/56;B29D11/00;G02B5/00;C23C16/54;F24S50/00;B32B7/12;H01L31/00;H01G9/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层膜结构 主表面 支撑元件 贴附 柔性基板 真空沉积 反射率 透射率 自粘合 制造 | ||
1.一种制造被构造为贴附到支撑元件的多层膜结构(100)的方法,所述方法包含:
提供具有第一主表面(112)和第二主表面(114)的柔性基板(110),其中所述第一主表面(112)是自粘合的;以及
在所述第二主表面(114)上真空沉积层系统(120)。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述柔性基板(110)的所述第一主表面(112)具备具有粘合能力的微结构(161)。
3.如权利要求1或2所述的方法,其中所述柔性基板(110)的所述第一主表面(112)包含合成刚毛(162)。
4.如权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述第一主表面(112)包含下列中的至少一个:碳纳米管、微纤维、微丝、微指状物、壁虎启示的表面元件、微钩-环元件、微吸垫和微孔。
5.如权利要求1至4中任一项所述的方法,其中所述多层膜结构(100)是窗膜或日光控制膜。
6.如权利要求1至5中任一项所述的方法,其中所述层系统(120)被构造为用于通过将所述多层膜结构(100)贴附到所述支撑元件(150)来改变所述支撑元件(150)的透射率和反射率中的至少一个。
7.如权利要求1至6中任一项所述的方法,进一步包含在真空沉积所述层系统(120)之前用保护层(111)覆盖所述柔性基板(110)的所述第一主表面(112)。
8.如权利要求1至7中任一项所述的方法,其中所述层系统包含至少两个氧化物层和沉积在所述氧化物层之间的金属层。
9.如权利要求1至8中任一项所述的方法,其中所述柔性基板(110)包含透明的聚合膜,特别地包含聚酯膜,更特别地包含PET膜。
10.如权利要求1至9中任一项所述的方法,其中真空沉积的步骤包含下列中的至少一个:溅射、化学气相沉积、HFCVD、PECVD和蒸发。
11.如权利要求1至9中任一项所述的方法,其中真空沉积的步骤包含:
在可旋转涂布滚筒(210)的支撑表面(211)上引导所述柔性基板(110),其中所述第一主表面(112)被定向为朝向所述可旋转涂布滚筒;以及
经由两个或更多个沉积源(222、224)在被定向为背向所述可旋转涂布滚筒(210)的所述第二主表面(114)上沉积所述层系统(120)。
12.一种待被贴附到支撑元件(150)的多层膜结构(100),所述多层膜结构(100)特别地根据权利要求1至11中的任一项而制造,所述多层膜结构(100)包含:具有自粘合的第一主表面(112)的柔性基板(110),其中层系统(120)真空沉积在所述柔性基板的第二主表面(114)上。
13.如权利要求12所述的多层膜结构(100),其中所述第一主表面(112)具备具有粘合能力的微结构(161),特别是具备合成刚毛(162)。
14.一种改变支撑元件(150)的透射率和反射率中的至少一个的方法,包含:
提供如权利要求12或13所述的多层膜结构(100);以及
通过将所述柔性基板(110)的所述自粘合的第一主表面(112)施加到所述支撑元件(150)的贴附表面(152)来将所述多层膜结构(100)贴附到所述支撑元件(150)。
15.如权利要求14所述的方法,其中所述多层膜结构(100)是窗膜或日光控制膜,并且其中贴附所述多层膜结构(100)的步骤包含将所述自粘合的第一主表面(112)施加到窗的内表面。
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