[发明专利]缺陷检查装置和方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，其特征在于，具备：

a)声波激励部，其在作为测定对象的物体的表面的规定位置处激励时间波形由连续性的周期函数表示的声波；

b)位移量测定部，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的所述表面的位移量进行测定，并且对由所述声波激励部激励的声波的周期函数中的至少三个不同的相位处的所述位移量进行测定；以及

c)周期函数获取部，其基于所述至少三个不同的相位处的位移量，来求出表示该位移量的周期性的变化的周期函数。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还具备：

d)位移量运算部，其使用表示所述位移量的周期性的变化的周期函数，来以预先决定的相位间隔求出所述表面的各点处的位移量的值；以及

e)影像化部，其使用由所述位移量运算部求出的位移量的值，来将所述表面上的声波的传播影像化。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

由所述位移量测定部进行测定的相位为2n+1个以上的不同的相位，获取周期性地变化的位移量的第n次高次谐波分量，其中，n为2以上的整数。

4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述位移量测定部具备照明单元，该照明单元在与所述声波的周期同步的定时对作为所述测定对象的物体的表面进行照明。

5.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述位移量测定部具备干涉光学系统，该干涉光学系统对来自作为所述测定对象的物体的表面的光进行二分割并赋予相位差之后使其产生干涉。

6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

由所述位移量测定部进行测定的所述至少三个不同的相位以跨在由所述声波激励部激励的声波的周期函数中的多个周期的方式设定。

7.一种缺陷检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

a)在作为测定对象的物体的表面的规定位置处激励时间波形由连续性的周期函数表示的声波；

b)对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的所述表面的位移量，在所述声波的周期函数中的至少三个不同的相位处进行测定；

c)基于所述至少三个不同的相位处的位移量，来求出表示该位移量的周期性的变化的周期函数；

d)使用表示所述位移量的周期性的变化的周期函数，来以预先决定的相位间隔求出所述表面的各点处的位移量的值；

e)使用以所述预先决定的相位间隔求出的所述表面的各点处的位移量的值，来将该表面上的声波的传播影像化。

8.根据权利要求7所述的缺陷检查方法，其特征在于，

所述三个不同的相位以跨在所述声波的周期函数中的多个周期的方式设定。