[发明专利]活性气体生成装置和成膜处理装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，生成将供给至放电空间的原料气体活性化来得到的活性气体，其特征在于，具备：

第一电极构成部(1)；以及

第二电极构成部(2，2B)，设置于所述第一电极构成部的下方，

所述第一电极构成部和所述第二电极构成部被施加交流电压，通过所述交流电压的施加，在所述第一电极构成部与所述第二电极构成部之间形成所述放电空间，

所述第一电极构成部具有第一电介质电极(11)以及在所述第一电介质电极的上表面上选择性地形成的第一金属电极，所述第二电极构成部具有第二电介质电极(21A，21B)以及在所述第二电介质电极的下表面上选择性地形成的第二金属电极，通过所述交流电压的施加，在所述第一电介质电极与所述第二电介质电极对置的电介质空间内，所述第一金属电极与所述第二金属电极在俯视观察时重叠的区域被规定为所述放电空间，

所述第二金属电极具有在俯视观察时隔着所述第二电介质电极的中央区域(R51)彼此对置地形成的一对第二部分金属电极(20H，20L)，所述一对第二部分金属电极以第一方向为电极形成方向，以与所述第一方向交叉的第二方向为彼此对置的方向，

所述第一金属电极具有一对第一部分金属电极(10H，10L)，该一对第一部分金属电极具有在俯视观察时与所述一对第二部分金属电极重叠的区域，

所述第二电介质电极具有：

多个气体喷出孔(31～37，41～47)，形成在所述中央区域，用于将所述活性气体喷出到外部；

一对端部区域台阶部(52，53)，以隔着所述多个气体喷出孔的全部的方式在所述第一方向的两端侧分别向上方突出且沿着所述第二方向形成，

所述一对端部区域台阶部形成为在俯视观察时沿着所述第二方向延伸到至少超过所述一对第二部分金属电极的形成位置的位置，

所述多个气体喷出孔包括：

3个以上的第一数量的第一喷出孔(31～37)，沿着所述第一方向按第一间隔形成；以及

3个以上的第二数量的第二喷出孔(41～47)，相对于所述第一数量的第一喷出孔在所述第二方向上隔着规定间隔地配置，沿着所述第一方向按第二间隔形成，

所述第一数量的第一喷出孔和所述第二数量的第二喷出孔形成为沿着所述第一方向而第一喷出孔与第二喷出孔交替地配置。

2.根据权利要求1所述的活性气体生成装置，其特征在于，

所述第二电介质电极还具备中央区域台阶部(51)，该中央区域台阶部(51)在所述中央区域向上方突出地形成，

所述中央区域台阶部具有：

多个第一分离部(51h)，分别沿着所述第二方向形成，将所述第一数量的第一喷出孔中的相互相邻的第一喷出孔之间进行分离；

多个第二分离部(51l)，分别沿着所述第二方向形成，将所述第二数量的第二喷出孔中的相互相邻的第二喷出孔之间进行分离；以及

第三分离部(51c)，沿着所述第一方向形成，将所述第一数量的第一喷出孔与所述第二数量的第二喷出孔之间进行分离。

3.根据权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其特征在于，

所述交流电压包括相互独立的一侧交流电压和另一侧交流电压，所述放电空间包括相互分离地形成的一侧放电空间和另一侧放电空间，

所述一对第一部分金属电极具有一侧第一部分金属电极(10H)和另一侧第一部分金属电极(10L)，

所述一对第二部分金属电极具有一侧第二部分金属电极(20H)和另一侧第二部分金属电极(20L)，通过所述一侧交流电压的施加来在所述一侧第一部分金属电极与所述一侧第二部分金属电极之间形成所述一侧放电空间，通过所述另一侧交流电压的施加来在所述另一侧第一部分金属电极与所述另一侧第二部分金属电极之间形成所述另一侧放电空间。