[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其具有：

筒状的壳体，其沿轴线方向延伸；

隔膜，其与所述壳体的前端侧相接合，在与所述壳体的轴线交叉的方向上扩展，能够与在前端侧受到的压力相应地变形；以及

传感器部，其配置在所述壳体内，能够输出与所述隔膜的变形相应的电信号，

该压力传感器的特征在于，

所述隔膜具有板状的基板部和从所述基板部的前端侧的面向前端侧突出并互相分离的3个以上的突出部，

将所述基板部的厚度设为T，

将所述突出部的所述轴线方向上的长度设为H，

将假定没有所述突出部的情况下的所述基板部的前端侧的面即基板前端面的面积设为S1，

将所述3个以上的突出部的前端侧的面即突出前端面的面积的总和设为S2，这时，

满足0.05T≤H≤2.5T，且0.05≤（S2/S1）≤0.8。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

该压力传感器包括4个以上的所述突出部，

在将包括所述轴线且经过所述基板前端面的重心且互相垂直的、将所述基板前端面分割为4个区域的两个虚拟的平面设为一组虚拟平面时，

存在分割所述基板前端面的至少一组所述虚拟平面，使得在所述4个区域均具有1个以上的所述突出部。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述3个以上的突出部包括所述突出前端面的形状为多边形的所述突出部。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述4个以上的突出部包括所述突出前端面的形状为多边形的所述突出部。

5.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述隔膜具有沿前端侧的面延伸的深度为H的多条槽，

所述3个以上的突出部借助所述槽互相分离。

6.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

所述隔膜具有沿前端侧的面延伸的深度为H的多条槽，

所述4个以上的突出部借助所述槽互相分离。

7.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，

所述多条槽包括互相平行的多条第1槽和互相平行且与所述第1槽交叉的多条第2槽。

8.根据权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，

所述多条槽包括互相平行的多条第1槽和互相平行且与所述第1槽交叉的多条第2槽。

9.根据权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，

所述3个以上的突出部借助两条所述第1槽和两条所述第2槽从其他所述突出部分离，且包括所述突出前端面的形状为四边形的所述突出部。

10.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于，

所述4个以上的突出部借助两条所述第1槽和两条所述第2槽从其他所述突出部分离，且包括所述突出前端面的形状为四边形的所述突出部。

11.根据权利要求9或10所述的压力传感器，其特征在于，

包括所述第1槽和所述第2槽的所述多条槽配置为格子状。

12.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，

在包括所述轴线的剖面中，所述基板部的后端侧的面与垂直于所述轴线的方向所成的锐角的角度θ的绝对值为20度以内。