[发明专利]电容式MEMS麦克风以及电子设备有效
| 申请号： | 201680087525.0 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN109691135B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 以及 电子设备 | ||
1.一种电容式MEMS麦克风，包括：
衬底；
设置在所述衬底上的底板；
设置在所述底板上方的顶板，所述顶板与所述底板相间隔开；
其中，所述顶板能相对于第一扭转轴进行扭转并且被所述第一扭转轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分与所述底板形成两个电容器，以及第一组声孔被设置在所述顶板的第一部分上；
其中，所述底板能相对于第二扭转轴进行扭转并且被所述第二扭转轴分为第三部分和第四部分，所述第二扭转轴与所述第一扭转轴相对应，所述第三部分和所述第四部分分别与所述第一部分和所述第二部分相对应。
2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述顶板在所述第一扭转轴的端部被设置在所述衬底上。
3.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述底板所述第二扭转轴的端部被设置在所述衬底上。
4.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，第二组声孔被设置在所述底板的第四部分上。
5.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，相对于扭转刚度来说，所述顶板和所述底板中的至少一个在面外移动方面具有足够的刚度。
6.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，第一电极设置在所述第一部分上，第二电极设置在第二部分上，中心电极设置在所述底板上，并且所述第一电极和所述第二电极用于提供差分感测信号。
7.根据权利要求6所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述顶板为多晶硅，并且所述第一电极和所述第二电极通过掺杂构图而被隔离。
8.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其中，所述顶板和所述底板通过电介质层被设置在所述衬底上。
9.一种电子设备，包括如权利要求1-8中的任一项所述的电容式MEMS麦克风。
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