[发明专利]流体操纵式膜片驱动器和配备其的阀组件

权利要求书

1.一种带有驱动器壳体(5)的流体操纵式膜片驱动器，所述驱动器壳体具有两个在接合区域(17)中在共同限制壳体内部空间(8)的情况下轴向地靠置在彼此处的驱动器壳体部件(15,16)，其中，在所述壳体内部空间(8)中布置有将两个轴向地相邻的工作腔室(13,14)流体密封地相互分隔的且以驱动的方式与从动环节(45)联结的驱动器膜片(12)，所述驱动器膜片能够通过所述工作腔室(13,14)中的至少一个工作腔室的能借助于至少部分地构造在所述驱动器壳体(5)中的控制通道结构(52)控制的流体加载来轴向地偏移，以便引起所述从动环节(45)的从动运动(47)，其特征在于，所述驱动器膜片(12)在其外部的边缘区段(23)处在四周密封的情况下轴向地被夹入到关于所述驱动器壳体(5)分开的置入体(24,25)之间，所述置入体分别被置入到这两个驱动器壳体部件(15,16)中的一个驱动器壳体部件中，并且形成相应关联的工作腔室(13,14)的联接到所述驱动器膜片(12)处的外周的壁区段(35)，其中，密封结构(56)布置在所述置入体(24,25)中的至少一个置入体与所述驱动器壳体(5)之间，且其中，这两个置入体(24,25)与所述驱动器壳体(5)共同形成至少一个属于所述控制通道结构(52)的流体导引空间(64,68)。

2.根据权利要求1所述的膜片驱动器，其特征在于，所述密封结构(56)关于所述置入体(24,25)和/或所述驱动器壳体(5)分开地构造。

3.根据权利要求2所述的膜片驱动器，其特征在于，所述密封结构(56)具有一个或多个相对于所述置入体(24,25)同轴地布置的密封环(67)。

4.根据权利要求1所述的膜片驱动器，其特征在于，每个置入体(24,25)的壁部无穿孔地构造，从而所述驱动器膜片(12)的受控制的流体加载能够在没有穿过所述置入体(24,25)的壁部发生的流体贯通的情况下实施。

5.根据权利要求1所述的膜片驱动器，其特征在于，所述密封结构(56)具有多个同轴地且以彼此轴向的间距布置的环形的密封区段(65,66,69)。

6.根据权利要求5所述的膜片驱动器，其特征在于，至少一个置入体(24)关联有两个轴向地彼此间隔开的环形的密封区段(65,66)。

7.根据权利要求6所述的膜片驱动器，其特征在于，所述一个置入体(24)关联有正好两个轴向地彼此间隔开的环形的密封区段(65,66)并且另一个置入体(25)仅关联有唯一的环形的密封区段(69)。

8.根据权利要求1所述的膜片驱动器，其特征在于，这两个置入体(24,25)在围起环形内部空间(33)的情况下环形地构造，其中，所述控制通道结构(52)关于至少一个工作腔室(13,14)在由相关联的所述置入体(24,25)包围的区段外部通入到所述工作腔室(13,14)中，从而所述驱动器膜片(12)的受控制的流体加载穿过由所述环形的置入体(24,25)包围的环形内部空间(33)地实现。

9.根据权利要求1所述的膜片驱动器，其特征在于，这两个置入体(24,25)在没有直接的夹紧连接的情况下仅仅通过在容纳所述置入体的驱动器壳体部件(15,16)方面的轴向的加载来轴向地相互夹紧且同时与接合到所述置入体之间的驱动器膜片(12)夹紧。

10.根据权利要求9所述的膜片驱动器，其特征在于，每个置入体(24,25)具有至少一个与另一个置入体(25,24)轴向地背离的支撑区段(31)，相关联的所述驱动器壳体部件(15,16)以配对支撑区段(32)贴靠在所述支撑区段处，其中，这两个驱动器壳体部件(15,16)通过在其之间作用的夹紧器件(22)轴向地相互夹紧，由此这两个支撑在所述驱动器壳体部件(15,16)处的置入体(24,25)也被相互夹紧。