[发明专利]激光装置

权利要求书

1.一种激光装置，其中，所述激光装置具有：

激光腔，其在内部配置有一对放电电极；

窄带化光学系统，其包含配置在所述激光腔外的光栅；

扩束光学系统，其在与所述一对放电电极之间的放电方向平行的第1方向和与所述放电方向垂直且与光路延伸的方向垂直的第2方向上，放大从所述激光腔输出且朝向所述光栅行进的光束的波束直径，并包含在所述第1方向上放大所述波束直径的第1棱镜和第2棱镜、在所述第2方向上放大所述波束直径的第3棱镜和第4棱镜，所述扩束光学系统被配置成使所述光束的入射光路轴和出射光路轴相互平行的状态；

一个保持架，其保持所述第1棱镜和第2棱镜；以及

一个保持台，其与所述激光腔和所述光栅分开形成，通过保持所述保持架以及所述第3棱镜和第4棱镜来保持所述扩束光学系统，与所述扩束光学系统一起构成扩束单元，

从所述激光腔输出的光束经由所述扩束光学系统后在所述光栅进行反射衍射，然后经由所述扩束光学系统返回到所述激光腔内。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述第3棱镜和第4棱镜配置在比所述第1棱镜和第2棱镜更靠所述光栅侧。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述第1棱镜和第2棱镜配置在比所述第3棱镜和第4棱镜更靠所述光栅侧。

4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

在所述第1棱镜和第2棱镜的供光束倾斜入射的面上，涂布有抑制S偏振光的反射的膜，

在所述第3棱镜和第4棱镜的供光束倾斜入射的面上，涂布有抑制P偏振光的反射的膜。

5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

在第1棱镜～第4棱镜的供光束垂直入射的面上，涂布有抑制该光束的反射的膜。

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

基于所述第1棱镜和第2棱镜的所述第1方向的扩大倍率为1.5～4倍，基于所述第3棱镜和第4棱镜的所述第2方向的扩大倍率为3～5倍。

7.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

所述保持台构成为相对于激光装置可拆卸。

8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

除了所述光栅以外，所述窄带化光学系统还包含在所述第2方向上放大所述波束直径的至少一个棱镜。