[发明专利]清洗衬底的方法和装置

权利要求书

1.一种使用超/兆声波装置清洗衬底上的通孔、凹进区域的方法，其特征在于，包括：

将液体喷射到衬底和超/兆声波装置之间的间隙中；

设置超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁以驱动超/兆声波装置在气泡总体积和衬底上的通孔、凹进区域的体积的比值增大到第一设定值后，设置超/兆声波电源的频率为f₂，功率为P₂以驱动超/兆声波装置；

在气泡总体积和衬底上的通孔、凹进区域的体积的比值减小到第二设定值后，再次设置超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁；

重复以上步骤直到衬底洗净。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一设定值低于气泡饱和点。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，第一设定值为气泡饱和点。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，即使在气泡总体积和衬底上的通孔、凹进区域的体积的比值达到气泡饱和点后，超/兆声波电源仍然保持频率为f₁，功率为P₁，且持续时间为mτ₁，这里的τ₁为达到气泡饱和点的时间，m为τ₁的倍数，随后，设置超/兆声波电源的频率为f₂，功率为P₂以驱动超/兆声波装置。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，m的值为0.1-100。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，气泡内的温度冷却导致气泡总体积和衬底上的通孔、凹进区域的体积的比值减小到第二设定值。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，设置所述超/兆声波电源频率为f₁，功率为P₁和设置所述超/兆声波电源频率为f₂，功率为P₂之间的时间间隔小于2000倍的频率为f₁的波形周期。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，设置所述超/兆声波电源频率为f₁，功率为P₁和设置所述超/兆声波电源频率为f₂，功率为P₂之间的时间间隔小于((Vi-V0–ΔV)/(ΔV-δV)+1)/f₁，其中，Vi为所需体积，V0为初始体积，ΔV为气泡在一次压缩后的体积减量，δV为气泡在一次膨胀后的体积增量。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率P₂的值设为0。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁等于所述频率f₂，所述功率P₂小于所述功率P₁。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁高于所述频率f₂，所述功率P₂小于所述功率P₁。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁小于所述频率f₂，所述功率P₁等于所述功率P₂。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁小于所述频率f₂，所述功率P₁大于所述功率P₂。