[发明专利]衬底清洗方法及清洗装置

权利要求书

1.一种使用超/兆声波装置清洗衬底且不损伤衬底上的图案化结构的方法，其特征在于，包括：

将液体喷射到衬底和超/兆声波装置之间的间隙中；

设置超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁以驱动所述超/兆声波装置；

在气泡内爆产生微喷射之后且在气泡内爆产生的微喷射损伤衬底上的图案化结构之前，设置所述超/兆声波电源的频率为f₂，功率为P₂以驱动所述超/兆声波装置；

待气泡内的温度冷却到设定温度后，再次设置所述超/兆声波电源的频率为f₁，功率为P₁；

重复上述步骤直到衬底被洗净。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过将温度T_n控制在温度T_d之下(控制时间Δτ)来将气泡内爆控制在会导致图案化结构损伤的内爆强度之下，其中T_n是超/兆声波对气泡连续作用n个周期后获得的气泡最高温度值，T_d是累积一定量的气泡内爆的温度，该累积一定量的气泡内爆具有导致图案化结构损伤的高强度(能量)。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，设置所述超/兆声波电源的频率为f₁、功率为P₁与设置所述超/兆声波电源的频率为f₂、功率为P₂之间的时间间隔小于2000倍的频率f₁的波形周期。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，设置所述超/兆声波电源的频率为f₁、功率为P₁与设置所述超/兆声波电源的频率为f₂、功率为P₂之间的时间间隔小于((T_i-T₀-ΔT)/(ΔT–δT)+1)/f₁，其中T_i是当所述气泡内爆时气泡内部气体和蒸汽的温度，T₀是所述液体的温度，ΔT是所述气泡一次压缩后的温度增量，δT是所述气泡一次膨胀后的温度减量。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率P₂的值设为0。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁等于所述频率f₂，所述功率P₂小于所述功率P₁。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁高于所述频率f₂，所述功率P₂小于所述功率P₁。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁小于所述频率f₂，所述功率P₁等于所述功率P₂。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁小于所述频率f₂，所述功率P₁大于所述功率P₂。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述频率f₁小于所述频率f₂，所述功率P₁小于所述功率P₂。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述超/兆声波电源输出功率P₁具有逐渐增大的振幅。