[发明专利]压电发射和/或接收装置、具有这种压电发射和/或接收装置的振动传感器及制造压电发射和/或接收装置的方法在审
申请号: | 201680090633.3 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN109923685A | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 福尔克·奥尔盖耶;多米尼克·费伦巴赫;霍尔格·格鲁尔 | 申请(专利权)人: | VEGA格里沙贝两合公司 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/273 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 曹正建;陈桂香 |
地址: | 德国沃*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 压电元件 发射 电极 隔离 振动传感器 隔离元件 烧结 制造 | ||
1.一种压电发射和/或接收装置(1),其包括:
至少一个压电元件(3);
至少两个用于与所述压电元件(3)接触的电极(5);以及
至少两个用于上侧隔离和下侧隔离的隔离元件(7),
其特征在于,至少所述压电元件(3)和所述电极(5)被烧结成单体。
2.根据权利要求1所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述单体额外地包括所述隔离元件(7)。
3.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电发射和/或接收装置(1)包括n个所述压电元件(3)和n+1个所述电极(5),所述压电元件(3)和所述电极(5)交替地布置并且被烧结成单体。
4.根据权利要求1或2中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电发射和/或接收装置(1)包括发射装置(10)和接收装置(11),所述发射装置(10)和所述接收装置(11)均包括交替地布置的n个所述压电元件(3)和n+1个所述电极(5),其中,所述发射装置(10)和所述接收装置(11)通过分离陶瓷(13)彼此电隔离,并且所有这些部件被烧结成单体。
5.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述单体额外地包括优选为金属的压力件(15),所述压力件用于传递产生的振动。
6.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电元件(3)和所述电极(5)被设计成环形盘。
7.根据权利要求1到5中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电元件(3)和所述电极(5)被设计成圆形盘。
8.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电元件(3)具有小于1.0mm,优选小于0.5mm的厚度(d)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电元件(3)和/或所述电极(5)和/或所述隔离元件(7)和/或所述分离陶瓷(13)具有大于6.3、优选大于16的平均粗糙度。
10.根据前述权利要求中任一项所述的压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述单体是通过银烧结工艺制造的。
11.一种具有压电发射和/或接收装置(1)的振动传感器(100),所述压电发射和/或接收装置具有可振动膜片(90)和夹紧装置(96),所述夹紧装置用于将所述压电发射和/或接收装置(1)夹紧在所述膜片(90)上,使得所述发射和/或接收装置(1)的振动被传递到所述膜片(90)并且所述膜片(90)的振动被传递到所述压电发射和/或接收装置(1),
其特征在于,所述压电发射和/或接收装置(1)是根据前述权利要求中任一项设计的。
12.一种用于制造压电发射和/或接收装置(1)的方法,其包括如下步骤:
设置至少一个压电元件(3)、至少两个用于接触所述压电元件(3)的电极(5)以及至少两个用于上侧隔离和下侧隔离的隔离元件(7);
使用基于银的烧结材料,至少涂布所述压电元件(3)的接触侧以及所述电极(5)的在布置完成状态下与所述压电元件(3)面对的侧;
将电极(5)和压电元件(3)对准地布置成堆叠体;
在限定的烧结温度(T)下将所述堆叠体烧结预定的烧结时间(t)以形成单体。
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