[发明专利]感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷布线板的制造方法在审
| 申请号： | 201680091251.2 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110023837A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 粂壮和;松村辽 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性元件 感光层 支撑膜 光聚合性化合物 烯键式不饱和键 光聚合引发剂 粘合剂聚合物 印刷布线板 抗蚀图案 主面 配置 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种感光性元件，其为具备支撑膜和配置在该支撑膜上的感光层的感光性元件，其中，
所述感光层含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物和光聚合引发剂，
所述支撑膜的靠所述感光层侧的表面上的直径为2μm以上的缺陷的数目是每2mm2为30个以下。
2.根据权利要求1所述的感光性元件，其中，
所述支撑膜具有聚酯膜、树脂层和润滑剂层，
所述树脂层配置在所述感光层与聚酯膜之间，
所述润滑剂层配置在所述聚酯膜的与所述树脂层相反的一侧。
3.根据权利要求1或2所述的感光性元件，其中，所述支撑膜的厚度为1～200μm。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性元件，其中，所述支撑膜的雾度值为0.01～1.0％。
5.一种抗蚀图案的形成方法，其具备以下工序：
将权利要求1～4中任一项所述的感光性元件的所述感光层层叠在基板上的层叠工序；
将活性光线照射到所述感光层的规定部分以形成光固化部的曝光工序；以及
将所述感光层中的除所述光固化部以外的区域除去的显影工序。
6.一种印刷布线板的制造方法，其具备对具有利用权利要求5所述的抗蚀图案的形成方法所形成的抗蚀图案的基板实施选自刻蚀处理及镀覆处理中的至少一种处理的工序。
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