[发明专利]基板生产线及基板生产机有效
申请号: | 201680091446.7 | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN110050238B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 谷泽由治 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;H05K13/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆德骏;安翔 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 生产线 生产 | ||
1.一种基板生产线,其特征在于,具备:
多个基板生产机,从上游向下游排成一列地配置,且分别从上游侧送入基板,对所述基板实施与所述基板的种类对应的生产作业而向下游侧送出;
共有保持器,能够从各个所述基板生产机生成并识别电子化的文件;
基板种类掌握部,设置于最上游的所述基板生产机,在送入所述基板以前,掌握所述基板的所述种类;
文件生成部,设置于除最下游以外的所述基板生产机,对应于所述基板的送出,在所述共有保持器生成包含表示所述基板的所述种类的基板种类信息的基板种类信息文件;
文件识别部,设置于除最上游以外的所述基板生产机,在送入所述基板以前,识别上游侧最近的所述基板生产机生成的所述基板种类信息文件;及
文件删除部,设置于除最上游以外的所述基板生产机,将所述文件识别部识别出的所述基板种类信息文件从所述共有保持器删除,
所述共有保持器的内部被划分成多个区域,所述多个区域中的各个区域分别是上游侧基板生产机生成所述基板种类信息文件、且所生成的该基板种类信息文件由与所述上游侧基板生产机相邻的下游侧基板生产机识别及删除的区域。
2.根据权利要求1所述的基板生产线,其中,
所述基板生产线还具备换产调整实施部,所述换产调整实施部设置于至少一部分所述基板生产机,对应于所述基板的所述种类的变更而进行换产调整动作。
3.根据权利要求1或2所述的基板生产线,其中,
所述基板种类信息文件包含识别所述基板的个体的识别信息。
4.根据权利要求1或2所述的基板生产线,其中,
所述基板种类信息文件包含终止标志,所述终止标志表示所述基板的生产实际块数达到所述基板的生产计划块数。
5.根据权利要求1或2所述的基板生产线,其中,
所述基板是由多个小片基板构成的多连片基板,
所述基板种类信息文件包含表示所述小片基板不可使用的跳过信息。
6.根据权利要求1或2所述的基板生产线,其中,
在多个所述基板生产机之中包含非共有型基板生产机,所述非共有型基板生产机无法在所述共有保持器生成电子化的所述文件、或者无法识别所述共有保持器的所述文件,
所述基板生产线还具备文件交接代理部,所述文件交接代理部对应于所述非共有型基板生产机对所述基板的送入及送出,从所述共有保持器取得所述非共有型基板生产机的上游侧最近的所述基板生产机生成的所述基板种类信息文件,并向所述非共有型基板生产机的下游侧最近的所述基板生产机交接。
7.一种基板生产机,其特征在于,具备:
作业实施部,从上游侧送入基板,对所述基板实施与所述基板的种类对应的生产作业而向下游侧送出;
共有保持器,能够生成并识别文件,且也能够从上游侧基板生产机及下游侧基板生产机生成并识别所述文件;
文件识别部,对应于所述基板的送入,识别由所述上游侧基板生产机在所述共有保持器生成且包含表示所述基板的所述种类的基板种类信息的基板种类信息文件;
文件生成部,对应于所述基板的送出,在所述共有保持器生成包含所述基板种类信息且由所述下游侧基板生产机识别的基板种类信息文件;及
文件删除部,将所述文件识别部识别出的所述基板种类信息文件从所述共有保持器删除,
所述共有保持器的内部被划分成多个区域,所述多个区域中的一个区域是所述基板生产机生成所述基板种类信息文件、且所生成的该基板种类信息文件由与所述基板生产机相邻的所述下游侧基板生产机识别及删除的区域。
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